




모델 |
RYW-ETB05B |
RYW-ETB20 |
RYW-ETB05S |
RYW-ETB05 |
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정렬 정확도 |
±0.5μm |
±2μm |
±0.5μm |
±2μm |
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시야각 |
0.5×0.3-5.4×4mm² |
1.2×0.9-14.4×10.8mm² |
0.5×0.3-5.4×4mm² |
1.2×0.9-14.4×10.8mm² |
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기판 크기 |
150mm/6인치(300mm/12인치) |
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칩 크기 |
0.1~40mm |
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축 정밀 조정 |
±10° |
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정밀 조정 범위 |
2.5×2.5×10mm Res(0.5μm) |
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압력 범위 |
0.2~30N(옵션 100N) |
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난방 온도 |
350±1℃ (옵션 450℃) |
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가열 및 냉각 속도 |
가열: 1~100℃/s; 냉각: >5℃/s |
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운전 범위 |
100mm×200mm |
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장치 크기 |
L0.7×W0.6×H0.5m |
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작업 유형 |
반자동 로터리 |
수동 로터리 |
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장치 무게 |
120kg |
100kg |
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