절단 머리 |
X 방향 |
이동 범위: 120mm |
롤러 압력 |
0~100gf |
|||
위치 정확도: 5 μm |
칼 압력 |
0~20gf |
|||||
Y 방향 |
이동 범위: 100mm |
장비 무게 |
약 60kg |
||||
위치 정확도: ±5 μm |
렌즈 Y 방향 |
이동 범위: 650*650*400mm |
|||||
T 방향 |
360도 회전 |
외부 차원 |
1170mmx730 mmx500mm |
||||
와퍼 크기 |
4인치 (100mm) 웨이퍼용 |
동작 인터페이스 |
19.5인치 TFT 컬러 화면, 한글 인터페이스 |
||||
이미지 시스템 |
6.0X 배율 (4.0X 옵션 가능) |
제어 시스템 |
Windows 7 운영 체제, 전용 절단기 제어 소프트웨어 |
||||
표준 구성 |
본체 \ 컴퓨터 \ 19.5인치 디스플레이 \ ESD 절단기 제어 소프트웨어 \ 마우스 및 키보드 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved