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과학 연구 반도체 광학 스펙트럼 분광 엘립소미터

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제품 설명

분광 엘립소미터

분광 엘립소미터는 빠르고 다중 점 자동 테스트를 완료할 수 있으며, 한 번의 클릭으로 샘플 균일성을 테스트할 수 있습니다. 제품의 편광기, 분석기 및 보상기는 모두 밴드갭 보상 기능이 있는 절대 코딩 고정밀 위치 잠금 장치로 구성되어 있어 시스템의 정확도와 안정성을 향상시킵니다. 이중 광섬유 구조를 채택하여 광 수집 효율을 강화하여, 심각한 표면 또는 일반 피라미드 전면에서 충분한 스펙트럼을 수집하여 테스트 및 분석할 수 있습니다. 또한 오토포커스, 광 강도 선택 및 위상 보상과 같은 기본 기능도 갖추고 있습니다.
물질의 광학적 특성을 고정밀도와 고효율로 분석하기 위해 설계되었습니다. 자동으로, 빠르고
물질의 굴절률, 소멸 계수 및 막 두께를 정확히 측정합니다. 이는 과학 연구, 반도체, 태양광, 광학 코팅, 디스플레이 패널 등 분야에서 박막 및 재료 특성 분석에 적합합니다.

측정 대상:

광학 코팅: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2,Pi.
디스플레이: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), 전극(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
태양광: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
반도체: 포토레지스트, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
기타: OCD, 2차원 재료, 반데르발스 이종접합 및 장치...

제품 기능：

굴절률 측정: 다양한 파장에서 물질의 굴절률을 정확히 측정하여 광학 설계 및 재료 연구에 필요한 핵심 데이터를 제공합니다.
흡수계수 측정: 물질의 빛 흡수 특성을 분석하여 광전소자 성능을 최적화하는 데 도움을 줍니다.
필름 두께 측정: 나노미터에서 마이크론 수준의 필름 두께를 고해상도와 양호한 반복성으로 감지할 수 있습니다.
빠른 자동 테스트: 다중 점 자동 스캐닝 기능을 통해 측정 속도가 1초/점에 도달하여 대량 테스트의 효율성을 크게 향상시킵니다.

측정 원리:

엘립소메트리 측정 원리는 매질 표면 전후의 광학 반사 시 극화 상태 변화를 기반으로 하여 광학적 특성 및 구조 정보를 얻습니다.
입사 빔의 전기장은 p광과 s광으로 두 개의 수직 방향으로 분해되며, p광은 빛 진동에 평행합니다.
파동, 빛은 빛 파동의 진동에 수직인 방향으로 전파된다. 빔이 매체 표면에서 반사될 때 p와 s 빛의 진폭과 위상이 변화한다.
매체의 물리적 특성과 편광 상태 변화 간의 상관관계.

기기 작동 환경：

전원：220VAC+10%
실내 온도：환경 온도(10-30)℃
상대 습도: (20-80)%RH

분광계:

검출 유닛: 2048 픽셀 빠른 백 사이드 조명 CCD 검출기
상세 매개변수:
1. 스펙트럼 범위 350nm-1000nm보다 우수
2. 산란광<0.02%@400nm
3. 신호 대 잡음 비율 4800
4. 동적 범위 50000:1
5. 전息 광학 경로
6. 디지털 해상도 16비트
7. 읽기 속도 >400kHz
8. 데이터 전송 속도 600MB/s
9. 최소 통합 시간/조정 단계 6 us/1us
10. 외부 트리거 지연 95ns+/–20ns
11. 컴퓨터 인터페이스 USB4.1C/2.0
12. 운영 체제 Win 7/Win 8/Win 10
평균 자외선 영역 백 사이드 조명 CCD, 평균 양자 효율 ≥75% 냉각 시스템 마이크로 TE 냉각, 냉각 후 온도는 30°C
주변 온도보다 낮음.
통합 방법 소프트웨어 제어 자동 통합 시간 설정, 최적의 성능을 발휘할 수 있음

광원 시스템:

광원: 퀴츠 램프를 사용한 할로겐 램프, 파장 범위 350nm-2000nm, 수명 50000시간 이상으로 쇠락이 없음.
전원: 할로겐 램프용 독립 전원, 전압 4.9vd

자동 초점 기능이 있는 스테이지:

자동 초점 기능을 사용하여 샘플을 최적의 측정 위치로 이동, 스트ROKE:100mm
정확도: 0.0005mm, 양방향 제한 및 제로 위치 센서로 위치 제한 가능; 소프트웨어에서 가우스 회귀 방법을 사용하여 자동 초점 기능의 시작 위치, 종료 위치, 단계 길이 설정 가능; 지정된 적분 시간 설정 및 Focus 방법으로 강도 수집
제품 구조
사양
광학 시스템：
입사각
65°
광선 편차
< 0.3°
측정 매개변수
Psi&Del、TanPsi&CosDel、Alpha&Beta
극화기
글란-톰슨
재질
a-BBO
차단기
사분파 위상 지연, 초다색성
강도 선택
선형 광학 밀도 선택 요소。 측정 과정에서 양호한 신호 대 잡음 비를 보장하고 데이터 정확성을 향상시킴,
빛의 강도가 포화되거나 너무 약해 신호 대 잡음 비율과 정확도를 줄이지 않도록 합니다
광학 설계
이중 광섬유는 편광 요소를 통해 램프에서 분광계로 빛을 전달합니다. 안정적인 광로, 램프 교체가 편리함
섬유
자외선 방지 패시베이션; NA=0.22; 명확한 개구 600um
미세 광점
직경 ≤200um, 표면에서 반사된 유용한 빛과 불필요한 빛을 구분하기 위해
바닥 표면, 분리하기 쉽습니다
슬릿
1 50um, 전면에서 반사된 유용한 빛과 아래쪽에서 반사된 불필요한 빛을 구분하기 위해 사용
표면
기본 매개변수 선택 표:
스펙트럼 범위
350-1000nm
C
가시성
210-1000nm
UC
자외선-가시광선
210-1700nm
미
자외선-가시광선-근적외선
광학 보상기
Rc
단일 보상기
RC2
C2
이중 보상기
스펙트럼 범위
X-Y
M
최대 230mm의 큰 스토크
X-R
R
최대 300mm의 큰 직경
포장 및 배송
회사 프로필
마인더하이테크는 반도체 및 전자 제품 산업 장비의 판매 및 서비스 대표입니다. 2014년 이후, 회사는 고객에게 우수하고 신뢰할 수 있으며 일괄적인 기계 장비 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다.
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정되면 먼저 우리에게 예금을 지불해야 하며, 공장에서 상품 준비를 시작합니다. 장비가 준비되고 잔액을 지불하면 출하합니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

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