EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
소개: 본 장비는 주로 스테인리스강 진공 챔버, 마그네트론 스퍼터링 타겟, 증착 코팅 장치, 시료를 배치하기 위한 시료 테이블, 진공 펌프 유닛, 진공 측정 게이지, 공기 유입 시스템 및 제어 시스템으로 구성되어 있습니다. 장비의 메인 유닛은 터치스크린으로 작동되며, 온도 조절계로 감지됩니다. 디지털 파라미터 인터페이스와 자동화된 작동 기능을 통해 사용자에게 우수한 연구개발(R&D) 플랫폼을 제공합니다. 진공 챔버는 하부 타겟 설계를 채택하였으며, 시료 테이블은 가열 및 회전 기능을 갖추고 있어 코팅 효과를 보다 균일하게 만들 수 있습니다. 장비의 진공 획득 시스템은 2단계 진공 펌프 그룹을 채택하였습니다. 전단 펌프는 고속 기계식 펌프로, 대기압에서 저진공 상태에 이르기까지 소요 시간을 효과적으로 단축시킵니다. 주 펌프는 펌핑 속도가 높고 진공 획득 속도가 빠른 터보 분자 펌프입니다. 전체 진공 획득 시스템은 청결하고 신속합니다.
응용 분야: 단일층 또는 다층 강유전체 박막, 도전성 박막, 합금 박막, 반도체 박막, 세라믹 박막, 유전체 박막, 광학 박막 등 제조에 사용 가능
