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MP-E 시리즈 수동 웨이퍼 프로버

제품 소개:

MP-E 시리즈는 기능적으로 발전된 프로브 스테이션으로, 1μm 이상의 전극/패드 크기를 검사할 수 있으며 낮은 비용으로 테스트 기능을 업그레이드할 수 있습니다.

제품 특징:

1. 척을 상하로 이동시켜 샘플과 프로브를 빠르게 분리할 수 있음;

2. 표준 금상현미경, 1μm 이상의 패드 테스트 가능;

3. FA 테스트/레이저 커팅을 위해 레이저 장착 가능;

4. 현미경 페더릭트릭 빠른 리프트 기능으로 마이크로스코프 및 프로브 카드 홀더 교체가 용이함;

5. POMater 적응형 진동 차단 베이스;

6. 독일에서 수입한 진동 흡수 재료를 채택하여 테스트 안정성 향상.

제품 매개변수:

수동 프로버 모델

MP-M4/MP-M6/MP-M6mini

MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12

MP-H6/MP-H8/MP-H12

차크

척 재질

스테인리스 스틸/니켈 또는 금도금 구리

척 리프트

해당 없음

빠른 상승 5mm, 미세 조정 6mm

빠르게 이동

해당 없음

해당 없음

마이크로포지셔너 플랫폼 리프트

해당 없음

해당 없음

빠른 리프트 5mm, 미세 조정 40mm, 대략적 조정 300 μm

현미경

표준 본체 현미경(옵션 비디오 현미경 거울), 최대 100배까지 확대 가능

표준 PSM-1000 금상현미경 / 옵션(GX-6 금상, 실체, 비디오) 현미경, 최대 2000배까지 확대 가능 그리고 현미경은 공기 제어로 상하 조정이 가능함

프로브

사양

누설 전류

동축 1pA/V @ 25 °C; 삼축 100fA/V @ 25 °C; 트라이액셜 10pA@3kV @25°C,

시험 조건: 접지 차폐를 위한 건조 환경(공기 이슬점 -40 이하 °c)

커넥터 유형

바나나 헤드/크로커다일 클립/동축/트라이액셜 인터페이스

시험 응용

DC/(IV, CV) 테스트

저전류(100fA 이하) 테스트

1/f 노이즈 테스트

소자 특성화 테스트

WLR, 에이징 테스트

최대 110GHz 주파수의 RF 테스트

고출력/고전류/고전압 테스트

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고장 분석 테스트

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