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MP-E 시리즈 수동 웨이퍼 프로버

제품 소개:

MP-E 시리즈는 기능적으로 발전된 프로브 스테이션으로, 1μm 이상의 전극/패드 크기를 검사할 수 있으며 낮은 비용으로 테스트 기능을 업그레이드할 수 있습니다.

제품 특징:

1. 척을 상하로 이동시켜 샘플과 프로브를 빠르게 분리할 수 있음;

2. 표준 금상현미경, 1μm 이상의 패드 테스트 가능;

3. FA 테스트/레이저 커팅을 위해 레이저 장착 가능;

4. 현미경 페더릭트릭 빠른 리프트 기능으로 마이크로스코프 및 프로브 카드 홀더 교체가 용이함;

5. POMater 적응형 진동 차단 베이스;

6. 독일에서 수입한 진동 흡수 재료를 채택하여 테스트 안정성 향상.

제품 매개변수:

수동 프로버 모델

MP-M4/MP-M6/MP-M6mini

MP-E4/MP-E6/MP-E8/MP-E12

MP-H6/MP-H8/MP-H12

차크

척 재질

스테인리스 스틸/니켈 또는 금도금 구리

척 리프트

해당 없음

빠른 상승 5mm, 미세 조정 6mm

빠르게 이동

해당 없음

해당 없음

√

마이크로포지셔너 플랫폼 리프트

해당 없음

해당 없음

빠른 리프트 5mm, 미세 조정 40mm, 대략적 조정 300 μm

현미경

표준 본체 현미경(옵션 비디오 현미경 거울), 최대 100배까지 확대 가능

표준 PSM-1000 금상현미경 / 옵션(GX-6 금상, 실체, 비디오) 현미경, 최대 2000배까지 확대 가능 그리고 현미경은 공기 제어로 상하 조정이 가능함

프로브

사양

누설 전류

동축 1pA/V @ 25 °C; 삼축 100fA/V @ 25 °C; 트라이액셜 10pA@3kV @25°C,

시험 조건: 접지 차폐를 위한 건조 환경(공기 이슬점 -40 이하 °c)

커넥터 유형

바나나 헤드/크로커다일 클립/동축/트라이액셜 인터페이스

시험 응용

DC/(IV, CV) 테스트

저전류(100fA 이하) 테스트

1/f 노이즈 테스트

소자 특성화 테스트

WLR, 에이징 테스트

최대 110GHz 주파수의 RF 테스트

고출력/고전류/고전압 테스트

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고장 분석 테스트

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