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  • 마이크로파 플라즈마 청소기 / 마이크로파 플라즈마 표면 처리 장비
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마이크로파 플라즈마 청소기 / 마이크로파 플라즈마 표면 처리 장비

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제품 설명

마이크로파 플라즈마 청소 장비

반도체 칩 결합 전처리, 플라스틱 포장 전처리, 광저항 제거, 금속 결합 및 전처리용입니다.
이는 반도체를 위한 저전압 마이크로파 플라즈마 청소 시스템입니다. 진공腔의 벽에 있는 창에 2.45GHz 주파수의 마이크로파를 적용하면 많은 양의 연속적인 플라즈마가 생성되고, 이로 인해 칩이 cavity 내로 들어가 청소됩니다.
장점
1. 플라즈마는 전하가 없으므로 회로에 손상을 일으키지 않습니다
2. 처리 과정 중 온도를 낮게 유지하십시오
3. 빠른 반응 속도와 짧은 반응 시간
4. 전극 없음, 오염원 없음, 긴 수명
5. 고압 상태에서 플라즈마를 유지할 수 있음
6. 마이크로파 접합부 및 자기 회로가 호환됨
7. 낮은 자기 바이어스 전압 요구사항
8. 안전을 위해 고전압 소스와 발전기는 서로 격리되어 있습니다
9. 건식 에칭, 오염원 없음
애플리케이션
칩 결합 사전 처리
금속 결합 사전 처리
플라스틱 봉인 전 사전 처리
웨이퍼 표면 활성화

이중 전원 기술 마이크로파 + 바이어스 RF:

마이크로파는 우수한 스트리핑 속도와 균일성(포토레지스트 스트리핑) 특성을 달성하며, 라디오 주파수 바이어스는 플라즈마 이동에 방향성을 가진 운동 에너지를 제공하고, 이중 전원 기술은 반도체 스트리핑 및 에칭의 효율과 효과를 향상시킵니다.
사양
진공 플라즈마 호스트
장비 크기
1230X1800X1100mm (폭 x 높이 x 깊이)
무게
450kg
전력 수요
AC380V, 50/60Hz, 5선, 30A
플라즈마 생성기 사양
전자레인지 전원 공급 장치
전력
0~1250W
주파수
2.45GHz
진공 시스템
재료
알루미늄 합금 (맞춤형 스테인리스 챔버 가능)
두께
25mm
챔버 내부 치수
480mmX470mmX480mm
작업 공간
6 매거진 구역
ECR
슬롯 매거진이 ECR 강화 처리 효과를 제공합니다
플라즈마 기능
처리 능력
35마이크론 피치
40μm 범프
15X15mm 최대 다이 크기
포장 및 배송
공장 전경
회사 소개
마인더하이테크는 반도체 및 전자 제품 산업 장비의 판매 및 서비스 대표입니다. 2014년 이후, 회사는 고객에게 우수하고 신뢰할 수 있으며 일괄적인 기계 장비 솔루션을 제공하기 위해 노력해 왔습니다.
자주 묻는 질문
1. 가격에 대해:
우리의 모든 가격은 경쟁력 있고 협상 가능합니다. 장치의 구성과 맞춤화 복잡성에 따라 가격이 달라집니다.

2. 샘플에 대해:
우리는 당신을 위해 샘플 생산 서비스를 제공할 수 있지만, 일부 비용을 지불해야 할 수 있습니다.

3. 결제에 대해：
계획이 확정되면 먼저 우리에게 예금을 지불해야 하며, 공장에서 상품 준비를 시작합니다. 장비가 준비되고 잔액을 지불하면 출하합니다.

4. 배송에 대해:
장비 제조가 완료된 후, 우리는 당신에게 검수 영상을 보낼 것이며, 또한 현장에 와서 장비를 점검할 수도 있습니다.

5. 설치 및 디버깅:
장비가 귀하의 공장에 도착한 후, 우리는 엔지니어를 파견하여 장비를 설치하고 디버깅할 수 있습니다. 이 서비스 비용에 대해 별도의 견적을 제공해 드립니다.

6. 보증에 대해:
우리 장비는 12개월의 보증 기간이 있습니다. 보증 기간 이후에 부품이 손상되어 교체가 필요할 경우, 우리는 원가만 청구합니다.

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