자외선 광원 중심 파장 |
405nm |
노광 균일도 |
90% 이상 |
최소 특징 라인 폭 |
0.5um |
단일 패스 작성 필드 노광 영역 |
0.16*0.16mm (@0.5um) |
쓰기 속도 |
80 mm²/min (1um 특징 선 폭) |
지원하는 이미지 형식 |
DXF, GDS, bmp, png 등 |
구성 |
베이직 버전 |
프로페셔널 버전 |
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광원 |
고출력 LED: 405nm |
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DMD 칩 |
DLP6500 |
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단일 필드 노광 면적 |
0.16*0.16mm (@0.5um), 0.4*0.4mm (@0.7um), 0.8*0.8mm (@1um), 1.6*1.6mm (@2um) |
||
카메라 |
대면적 현미경 카메라 (크기 측정 지원) |
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최소 등간격 선 폭 |
0.8 µm |
0.5μm |
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스티칭 정확도 |
±0.3 µm |
±0.3μm |
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오버레이 정확도 |
±0.5 µm |
±0.5μm |
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쓰기 속도 |
20 mm²/min (1 µm 특징 선 폭) |
80 mm²/min (1μm 특징 선 폭) |
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모션 스테이지 |
고정밀 리니어 모터 (반복 위치 결정 정확도 ±0.25µm), 레벨링 메커니즘, 수동 로터리 스테이지 |
고정밀 리니어 모터(반복 위치 정밀도 ±0.25µm), 레벨링 메커니즘, 전동 로타리 스테이지 |
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대물렌즈 체인저 |
수동 대물렌즈 전환 |
모터 구동 대물렌즈 전환 |
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초점 조절 모듈 |
CCD 영상 자동 초점 |
레이저 활성 초점 조절 |
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지원 웨이퍼 크기 |
4 인치 |
4인치/8인치 |
|
샘플 두께 |
0~10mm |
0-10mm |
|
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