장비 특징:
1. 본 장비는 두께가 있는/얇은 필름 칩 저항기의 레이저 트리밍을 위해 설계되었으며, 초소형 스팟 크기를 갖춘 국내 최고 브랜드 레이저를 탑재하여 두께가 있는/얇은 필름 칩 저항기 소재 가공에 이상적입니다.
2. 고정밀 리니어 모터 XY 스테이지를 채택하여 효율적이고 대량 생산이 가능합니다.
3. 높은 신뢰성을 갖춘 자동 로딩/언로딩 시스템으로 원활하고 중단 없는 자동화 공정을 보장합니다.
4. 확장 가능한 매트릭스 시스템으로 256개 이상의 측정 채널을 지원합니다.
5. 차세대 측정 및 제어 시스템을 적용하여 뛰어난 정밀도와 속도를 제공합니다. 무채색 영상 기술 및 영상 인식 정위 기능을 갖추고 있습니다.
6. 대리석 베이스를 사용하여 기계의 탁월한 안정성을 확보합니다.
기술 파라미터
모델 |
MDSG-LT71 |
MDSG-LT71B |
레이저 파장 |
1064mm |
355mm |
레이저 파워 |
20W |
3W |
표준 스팟 크기 |
35μm |
10μm |
집광 방식 |
자동, 컴퓨터 프로그램 제어. |
|
냉각 방법 |
공기 냉각 |
물 냉각 |
레이저 빔 이동 범위 |
100mm × 100mm |
40mm x 40mm |
이동 해상도 |
1.5μm |
0.76μm |
반복 위치 정확도 |
±5μm |
±2.5µm |
이동 모드 |
그레이팅 자로 제어되는 리니어 모터 |
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작동 범위 |
300mm*300mm |
300mm*300mm |
반복 위치 정확도 |
±1.5µm |
±1.5µm |
저항 측정 방법 |
4선식 측정 |
4선식 측정 |
저항 측정 정확도 |
±0.02% (중간 저항) |
±0.02% (중간 저항) |
저항 측정 범위 |
0.1ω-50MΩ |
0.1ω-50MΩ |
측정 채널 |
128채널(확장 가능) |
128채널(확장 가능) |
측정 속도 |
4µs/측정 |
4µs/측정 |
제로 및 풀스케일 오차 보정 |
자동 보정 |
자동 보정 |
프로브 카드 사양 |
칩 저항 핀 헤더 |
칩 저항 핀 헤더 |
장비 치수 |
1430 x 913 x 1747mm |
1430 x 913 x 1747mm |
무게 |
617Kg |
617Kg |
작동 조건(물, 전기, 가스) |
습도: 70% 미만; 전원 공급: AC 220V, 2.5kW; 압축 공기: 0.6MPa 미만, 40L/분 미만 |
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