Caratteristiche dell'attrezzatura
1. Questo equipaggiamento è progettato per il taglio laser di wafer semiconduttori di fascia alta.
2. Dotato di un laser importato dagli Stati Uniti, garantisce un’eccezionale stabilità durante il taglio laser.
3. Presenta una piattaforma XY con motore lineare ad alta precisione e antinterferenza, dotata di scala a reticolo, che riduce efficacemente le interferenze indotte dalla macchina sui prodotti.
4. Incorpora una telecamera CCD da 12 megapixel per un posizionamento preciso.
5. Dispone di tecnologia di imaging acromatica e di capacità di riconoscimento immagine per il posizionamento.
6. Dispone di interfacce esterne GPIB e altre per il collegamento di strumenti esterni per misurazioni o regolazione della resistenza.
7. La base in marmo garantisce un’eccellente stabilità della macchina.
Parametri tecnici
Modello |
MDSG-LT74 |
Lunghezza d'onda del laser |
1064/355 nm |
Potenza del laser |
6W/4W |
Dimensione tipica del punto focale |
25-35μm |
Metodo di messa a fuoco |
Automatico, controllato da programma informatico. |
Metodo di raffreddamento |
Raffreddamento ad aria |
Intervallo di movimento del fascio laser |
27 mm × 27 mm |
Risoluzione del Movimento |
0.76μm |
Precisione di ripetizione della posizione |
±2,5 µm |
Modalità di movimento |
Motore lineare con regolo graduato antinterferenza |
Intervallo di movimento) |
300 mm x 300 mm |
Precisione di ripetizione della posizione |
±1 µm |
Metodo di misurazione della resistenza |
misurazione a quattro fili |
Precisione della misurazione della resistenza |
±0,02% (resistenza media) |
Intervallo di misura della resistenza |
0.1ω–50 MΩ |
Velocità di misurazione |
4 µs/misura |
Correzione dell'errore di zero e di scala piena |
Correzione automatica |
Definizione della sonda |
Impostazione arbitraria programmabile |
Interfaccia |
GPIB |
Dimensione dell'apparecchiatura |
1430 x 913 x 1747 mm |
Peso |
617 kg |
Condizioni operative (acqua, elettricità, gas) |
Umidità: <70%; Alimentazione elettrica: CA 220 V, 2,5 kW; Aria compressa: <0,6 MPa, <40 L/min |
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