









Disco para pulir |
Tamaño |
Pulgadas |
4,5,6,8 |
Método de frotamiento |
- |
Método de rectificado de inmersión vertical |
|
Eje del husillo de la rueda de rectificado |
Tipos |
- |
Coches de aire |
Cantidad |
- |
1 |
|
Velocidad |
rpm |
0~5000 |
|
Potencia de Salida |
KW |
5.5/7.5 |
|
Recorrido |
mm |
150 |
|
Velocidad de alimentación |
um/s |
0.01~100 |
|
Velocidad de avance rápido |
mm/min |
300 |
|
Resolución |
um |
0.1 |
|
Eje del pieza de trabajo |
Tipo |
- |
Rodamientos de bolas |
Cantidad |
- |
1 |
|
Velocidad |
rpm |
0~300 |
|
Potencia |
kW |
0.75 |
|
Tipo de copa de succión |
- |
Cerámica microporosa |
|
Método de succión de wafer |
- |
Adsorción por vacío |
|
Transferencia de wafer |
- |
Manual |
|
Otras funciones |
Centrado de wafer |
- |
- |
Limpieza de wafer |
- |
- |
|
Limpieza de la ventosa |
- |
- |
|
Muela abrasiva |
mm |
φ200 |
|
EN LÍNEA medidas |
Rango de medición |
um |
0~1800 |
Resolución |
um |
0.1 |
|
Precisión de repetición |
um |
±0.5 |
|
Mecanizado precisión |
Precisión intra-wafer (TTV) |
um |
≤2 |
Precisión inter-laminar (LTL) |
um |
±3 |
|
Rugosidad de superficie (Ry) |
um |
0.1(2000#finish) |
|
Apariencia |
Coloración del aspecto |
um |
Patrón naranja |
Dimensiones(A×P×H) |
mm |
690×1720×1780 |
|
Peso |
kilogramo |
1400 |
Disco para pulir |
Tamaño |
Pulgadas |
6,8,12 |
Método de frotamiento |
- |
Método de rectificado de inmersión vertical |
|
Eje del husillo de la rueda de rectificado |
Tipos |
- |
Coches de aire |
Cantidad |
- |
1 |
|
Velocidad |
rpm |
0~5000 |
|
Potencia de Salida |
KW |
5.5/7.5 |
|
Recorrido |
mm |
150 |
|
Velocidad de alimentación |
um/s |
0.01~100 |
|
Velocidad de avance rápido |
mm/min |
300 |
|
Resolución |
um |
0.1 |
|
Eje del pieza de trabajo |
Tipo |
- |
Rodamientos de bolas |
Cantidad |
- |
1 |
|
Velocidad |
rpm |
0~300 |
|
Tipo de copa de succión |
- |
Cerámica microporosa |
|
Método de succión de wafer |
- |
Adsorción por vacío |
|
Transferencia de wafer |
- |
Manual |
|
Otras funciones |
Centrado de wafer |
- |
- |
Limpieza de wafer |
- |
- |
|
Limpieza de la ventosa |
- |
- |
|
Muela abrasiva |
mm |
φ300 |
|
EN LÍNEA medidas |
Rango de medición |
um |
0~1800 |
Resolución |
um |
0.1 |
|
Precisión de repetición |
um |
±0.5 |
|
Mecanizado precisión |
Precisión intra-wafer (TTV) |
um |
≤3 |
Precisión inter-laminar (LTL) |
um |
±3 |
|
Rugosidad de superficie (Ry) |
um |
0.13(2000#finish) |
|
Apariencia |
Coloración del aspecto |
um |
Patrón naranja |
Dimensiones(A×P×H) |
mm |
790×2170×1830 |
|
Peso |
kilogramo |
1800 |





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