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Unidad de hospedaje de plasma (60)
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Tamaño del equipo
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L 950×A 900×H 1650mm
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peso
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350 kg
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Suministro de energía a demanda
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AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 16A (tipo abierto total por encima de C)
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Especificación del generador de plasma
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poder
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frecuencia de radio
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frecuencia intermedia
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0~600W
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0-1000W
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frecuencia de suministro
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13,56 MHz
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40 K Hz
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Sistema de vacío
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bomba de vacío
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Bomba de tornillo doble (bomba de aceite): 40m3/h
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línea de vacío
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Toda la línea de acero inoxidable, así como mangas de vacío de alta resistencia
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calidad del Material
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Aleación de aluminio (cavidad de acero inoxidable personalizable)
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espesor
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25mm
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hermeticidad
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Sellado por soldadura de grado militar
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Dimensiones internas de la cavidad
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375*375*430mm (Ancho* alto * profundidad)
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Tamaño efectivo de la placa eléctrica
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247*281mm (ancho* profundidad)
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Espaciado de espacio disponible
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22mm
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Disposición de electroplacado
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Diseño horizontal, puede incluir extracción activa
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bandejas
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Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero)
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espacio de trabajo
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6 capas
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gas de proceso
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Rango de flujo
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0~300SCCM
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Ruta del gas de proceso
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Estándar con dos vías, se puede personalizar. La tubería de gas de proceso está hecha de ferrofllon
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navar
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SC
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PLC
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modo interactivo
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pantalla táctil de 7 pulgadas
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