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Máquina de Limpieza de Plasma Microondas / Equipo de Tratamiento Superficial de Plasma Microondas

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Descripción del Producto

Máquina de Limpieza de Plasma de Microondas

Para el pre-tratamiento de unión de chips de semiconductor, pre-tratamiento de empaquetado plástico, eliminación de fotoresistente, unión metálica y pre-tratamiento.
Este es un sistema de limpieza de plasma de microondas de bajo voltaje para semiconductores. Al aplicar microondas con una frecuencia de 2.45GHz a la ventana en la pared de la cavidad de vacío, se genera una gran cantidad de Plasma continuo, y la limpieza del chip se realiza al ingresar a la cavidad.
Ventajas
1. El Plasma no está cargado y no causará daño a los circuitos
2. Mantén la temperatura baja durante el proceso de tratamiento
3. Velocidad de respuesta rápida y tiempo de reacción corto
4. Sin electrodos, sin fuentes de contaminación, larga duración
5. Capaz de mantener el plasma bajo alta presión
6. Las uniones de microondas y los circuitos magnéticos son compatibles
7. Bajo voltaje de auto-sesgo requerido
8. La fuente y el generador de alta tensión están aislados entre sí por seguridad
9. Entallado seco, sin fuente de contaminación
Aplicación
Pre-procesamiento de unión de chips
Pre-tratamiento de unión metálica
Preprocesamiento antes del sellado en plástico
Activación de la superficie del wafer

Tecnología de doble fuente de poder Microondas + RF Bias:

Las microondas logran una excelente tasa de desgaste y uniformidad (características de eliminación de fotoresistente), la frecuencia de radio proporciona energía cinética direccional para el movimiento del plasma, y la tecnología de doble fuente de poder mejora la eficiencia y el efecto de la eliminación y grabado de semiconductores.
Especificación
Unidad de plasma de vacío
Tamaño del equipo
1230X1800X1100mm (ancho x alto x profundidad)
Peso
450 Kg
Demanda de energía
AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 30A
Especificaciones del Generador de Plasma
Fuente de alimentación de microondas
Poder
0~1250W
Frecuencia
2.45GHz
Sistema de vacío
Material
Aleación de aluminio (cámaras de acero inoxidable personalizables)
Grosor
25mm
Dimensiones internas de la cavidad
480mmX470mmX480mm
Espacios de trabajo
6 secciones de revista
ECR
La revista ranurada proporciona un efecto de procesamiento mejorado por ECR
Capacidad de plasma
Capacidad de procesamiento
paso de 35 micras
bump de 40μm
tamaño máximo de dado de 15X15mm
Embalaje y entrega
Vista de la fábrica
Perfil de la empresa
Minder-Hightech es el representante de ventas y servicio en el equipo de la industria de productos semiconductores y electrónicos. Desde 2014, la empresa está comprometida con proporcionar a los clientes Soluciones Superiores, Confiables y Todo en Uno para equipos de maquinaria.
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Acerca del Pago:
Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

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