Máquina de litografía sin máscara MDZY-DMD-MLL200 DMD , China Máquina de litografía sin máscara MDZY-DMD-MLL200 DMD Manufacturers, Suppliers, Factory

Descripción del Producto

MDZY-DMD-MLL200
Máquina de litografía sin máscara DMD

La MDZY-DMD-MLL200 es una máquina de litografía sin máscara basada en tecnología DMD (Dispositivo Digital Micromirro). Al sustituir las máscaras tradicionales por un DMD, permite un diseño rápido y flexible de patrones litográficos, soportando litografía en 2D y escala de grises de 8 bits. Puede satisfacer cualquier requisito de litografía a escala micrométrica y se utiliza ampliamente en diversos campos como MEMS y microfluídica.

Características

1. Diseño compacto de sobremesa
2. Fuente de luz de exposición LED de alta potencia y alta uniformidad
3. Exposición guiada con luz verde
4. Enfoque automático de imagen mediante una cámara CCD
5. Plataforma de motor lineal de alta precisión
6. Interfaz de software fácil de usar

Parámetros

Longitud de onda central de la fuente de luz UV	405nm
Uniformidad de exposición	Más del 90 %
Anchura mínima de línea de característica	0,5 µm
Área de exposición del campo de escritura en un solo paso	0,16*0,16 mm (@0,5 µm)
Velocidad de escritura	80 mm²/min (ancho de línea de característica de 1 µm)
Formatos de imagen compatibles	DXF, GDS, bmp, png, etc.

Configuración

Configuración	Versión básica	Versión profesional
Fuente de luz	LED de alta potencia: 405 nm
Chip DMD	DLP6500
Área de exposición por campo	0,160,16 mm (@0,5 µm), 0,40,4 mm (@0,7 µm), 0,80,8 mm (@1 µm), 1,61,6 mm (@2 µm)
CÁMARA	Cámara de microscopio de gran área (soporta medición de tamaño)
Ancho mínimo de línea equidistante	0.8 µm	0.5μm
Precisión de unión	±0,3 µm	±0,3μm
Precisión de superposición	±0,5 µm	±0.5μm
Velocidad de escritura	20 mm²/min (ancho de línea de característica de 1 µm)	80 mm²/min (ancho de línea de característica de 1 µm)
Etapa de movimiento	Motor lineal de alta precisión (precisión repetible de posicionamiento ±0,25µm), mecanismo de nivelación, etapa rotatoria manual	Motor lineal de alta precisión (precisión repetible de posicionamiento ±0,25 µm), mecanismo de nivelación, etapa rotativa eléctrica
Cambiador de lentes objetivos	Conmutación manual de lentes objetivos	Conmutación motorizada de lentes objetivos
Módulo de enfoque	Enfoque automático por imagen CCD	Enfoque activo por láser
Tamaños de oblea compatibles	4 pulgadas	4 pulgadas/8 pulgadas
Espesor de la muestra	0-10mm	0-10 mm

Casos de aplicación

Chip microfluídico

Litografía DMD UV para funcionalidad de superposición

Grabado de nanorejilla de teluro seguido de superposición de electrodo

Litografía en escala de grises de lentes Fresnel, litografía 3D en escala de grises para lentes Fresnel, que muestra cambios continuos de paso en la imagen transversal del microscopio electrónico de barrido.

Electrodos de materiales bidimensionales, electrodos de materiales bidimensionales después de evaporación y levantamiento, los electrodos evaporados son Ti/Au/Ti (12 nm en total)

Litografía combinada DMD UV y haz de electrones

Software

Los usuarios pueden completar todas las operaciones de litografía desde la interfaz principal sin ventanas emergentes.

Módulo de recorte de imagen:

Incluye funciones como recorte personalizado, relleno automático, inversión de color y suavizado de bordes.

Vinculación de objetos:

Los usuarios pueden establecer vinculaciones de objetos en cualquier ubicación sobre la superficie de la muestra y previsualizar simultáneamente la correspondencia entre cualquier subimagen de la imagen de campo completo y la superficie de la muestra, permitiendo una superposición precisa.

Función de dibujo in situ:

Se pueden dibujar gráficos directamente sobre la imagen microscópica y proyectarlos sobre la muestra para lograr una fotolitografía in situ.

Equipos en Acción

Embalaje y entrega

Perfil de la empresa

Desde 2014, Minder-Hightech es representante de ventas y servicio en la industria de equipos para productos semiconductores y electrónicos. Estamos comprometidos a brindar a nuestros clientes Soluciones Superiores, Confiables y de una Sola Parada para equipos de maquinaria. Hasta la fecha, los productos de nuestra marca se han extendido a los principales países industrializados del mundo, ayudando a los clientes a mejorar la eficiencia, reducir costos y mejorar la calidad de los productos.

Preguntas frecuentes

1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Sobre el pago:
Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

7. Servicio Postventa:
Todas las máquinas tienen un período de garantía de más de un año. Nuestros ingenieros técnicos siempre están en línea para brindarle servicios de instalación, puesta a punto y mantenimiento del equipo. Podemos ofrecer servicios de instalación y puesta a punto en el lugar para equipos especiales y grandes.

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