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  • Material grabado Depósito Reacción Máquina de grabado iónico RIE
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Material grabado Depósito Reacción Máquina de grabado iónico RIE

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Descripción del Producto

Máquina de grabado por ionización reactiva RIE

Las aplicaciones investigativas de las máquinas de grabado por ionización reactiva RIE en los campos de fabricación de semiconductores y procesamiento micro-nano se reflejan principalmente en el procesamiento de estructuras a escala nanométrica, el grabado de nuevos materiales, la fabricación de dispositivos complejos y los avances en tecnologías interdisciplinarias. Su valor principal reside en lograr una eliminación de material de alta precisión y alta selectividad mediante el control coordinado de bombardeo físico y reacciones químicas. Apoya la exploración de la vanguardia de la tecnología semiconductor y la innovación en dispositivos.

Características del equipo:

1. Alta precisión y anisotropía: Puede grabar patrones con paredes laterales empinadas y dimensiones precisas.
2. Buena uniformidad y repetibilidad: adecuado para producción a gran escala.
3. Amplia aplicabilidad de materiales: Al seleccionar diferentes combinaciones de gases, se pueden grabar diversos materiales (semiconductores, dieléctricos, metales, etc.).
4. Alta relación de selectividad: Puede grabar con precisión materiales específicos sin causar daños significativos a otros materiales.
5. Limpieza: Proceso seco, evitando problemas como la limpieza y el tratamiento de residuos líquidos causados por el grabado húmedo.
Especificación
Configuración del sistema:
Calefacción eléctrica
Cámara (Cavidad simple)
N/A
Tipo de electrodo inferior
242mm
Rango de Temperatura del Proceso
-20-100°C
Fuente de plasma
600W-1000W
Tamaño del medidor de presión del proceso
100mtorr
Sistema de vacío
Unidades de bomba molecular, sistemas de bomba seca, cámara de proceso
Número de cámaras de grabado
Unidad de cavidad
Abrazaderas
Tipo
Tamaño/mm
Material
N/A
8、6、4、3、2
Detector de punto final
Opción
Plasma acoplado inductivamente
Opción
Parámetros Técnicos:
Material de grabado
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Velocidad de grabado
>20nm/min (material Si02) Las velocidades varían según el material
Control distribuido
>85°
Método de carga
Carga abierta
Tubería de gas controlada por MFC
Seis tanques de gas disponibles
Opción de refrigeración posterior con helio
Sí
Interfaz hombre-máquina
Operación mediante pantalla táctil
Modo de operación
Modo totalmente automático, modo no totalmente automático
Selección y configuración de dispositivos automatizados
Puede elegir entre piezas importadas o nacionales
Casos de aplicación
Embalaje y entrega
Perfil de la empresa
Desde 2014, Minder-Hightech es representante de ventas y servicio en la industria de equipos para productos semiconductores y electrónicos. Estamos comprometidos a brindar a nuestros clientes Soluciones Superiores, Confiables y de una Sola Parada para equipos de maquinaria. Hasta la fecha, los productos de nuestra marca se han extendido a los principales países industrializados del mundo, ayudando a los clientes a mejorar la eficiencia, reducir costos y mejorar la calidad de los productos.
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Sobre el pago:
Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

7. Servicio Postventa:
Todas las máquinas tienen un período de garantía de más de un año. Nuestros ingenieros técnicos siempre están en línea para brindarle servicios de instalación, puesta a punto y mantenimiento del equipo. Podemos ofrecer servicios de instalación y puesta a punto en el lugar para equipos especiales y grandes.

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