









Abschleifbare Wafer |
Größe |
Zoll |
4,5,6,8 |
Reibungsart |
- |
Senkrecht-eintauchende Schleifmethode |
|
Schleifscheibenwelle |
Typen |
- |
Luftlager |
Menge |
- |
1 |
|
Geschwindigkeit |
u/min |
0~5000 |
|
Ausgangsleistung |
KW |
5.5/7.5 |
|
Hubweg |
mm |
150 |
|
Vorschubgeschwindigkeit |
µm/s |
0.01~100 |
|
Vorschubgeschwindigkeit |
mm/min |
300 |
|
Auflösung |
um |
0.1 |
|
Arbeitsstückachse |
Typ |
- |
Kugellager |
Menge |
- |
1 |
|
Geschwindigkeit |
u/min |
0~300 |
|
Leistung |
kW |
0.75 |
|
Saugkuppentyp |
- |
Mikroporöse Keramik |
|
Wafer-Saugmethode |
- |
Vakuumanziehung |
|
Wafer-Übertragung |
- |
Handbuch |
|
Andere Aufgaben |
Wafer-Zentrierung |
- |
- |
Wafer-Reinigung |
- |
- |
|
Reinigung der Saugtassen |
- |
- |
|
SCHLEIFRAD |
mm |
φ200 |
|
ONLINE abmessungen |
Messbereich |
um |
0~1800 |
Auflösung |
um |
0.1 |
|
Wiederholgenauigkeit |
um |
±0.5 |
|
Bearbeitung genauigkeit |
Intra-Wafer-Genauigkeit (TTV) |
um |
≤2 |
Zwischen-Wafer-Genauigkeit (WTW) |
um |
±3 |
|
Oberflächenrauheit (Ry) |
um |
0,1(2000#finish) |
|
Erscheinung |
Erscheinungsfärbung |
um |
Orange-Muster |
Abmessungen(B×T×H) |
mm |
690×1720×1780 |
|
Gewicht |
kg |
1400 |
Abschleifbare Wafer |
Größe |
Zoll |
6,8,12 |
Reibungsart |
- |
Senkrecht-eintauchende Schleifmethode |
|
Schleifscheibenwelle |
Typen |
- |
Luftlager |
Menge |
- |
1 |
|
Geschwindigkeit |
u/min |
0~5000 |
|
Ausgangsleistung |
KW |
5.5/7.5 |
|
Hubweg |
mm |
150 |
|
Vorschubgeschwindigkeit |
µm/s |
0.01~100 |
|
Vorschubgeschwindigkeit |
mm/min |
300 |
|
Auflösung |
um |
0.1 |
|
Arbeitsstückachse |
Typ |
- |
Kugellager |
Menge |
- |
1 |
|
Geschwindigkeit |
u/min |
0~300 |
|
Saugkuppentyp |
- |
Mikroporöse Keramik |
|
Wafer-Saugmethode |
- |
Vakuumanziehung |
|
Wafer-Übertragung |
- |
Handbuch |
|
Andere Aufgaben |
Wafer-Zentrierung |
- |
- |
Wafer-Reinigung |
- |
- |
|
Reinigung der Saugtassen |
- |
- |
|
SCHLEIFRAD |
mm |
φ300 |
|
ONLINE abmessungen |
Messbereich |
um |
0~1800 |
Auflösung |
um |
0.1 |
|
Wiederholgenauigkeit |
um |
±0.5 |
|
Bearbeitung genauigkeit |
Intra-Wafer-Genauigkeit (TTV) |
um |
≤3 |
Zwischen-Wafer-Genauigkeit (WTW) |
um |
±3 |
|
Oberflächenrauheit (Ry) |
um |
0,13(2000#finish) |
|
Erscheinung |
Erscheinungsfärbung |
um |
Orange-Muster |
Abmessungen(B×T×H) |
mm |
790×2170×1830 |
|
Gewicht |
kg |
1800 |





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