Material-Ätzung Abscheidungsreaktion Ionen-Ätzmaschine RIE , China Material-Ätzung Abscheidungsreaktion Ionen-Ätzmaschine RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

RIE-Reactive Ion Etching-Maschine

Die Forschungsanwendungen von RIE-Reactive Ion Etching-Maschinen im Halbleiterherstellungs- und Mikro-Nano-Bearbeitungsbereich zeigen sich hauptsächlich bei der Bearbeitung nanoskaliger Strukturen, dem Ätzen neuer Materialien, der Herstellung komplexer Bauelemente und Durchbrüchen in interdisziplinären Technologien. Ihr Kernwert besteht darin, durch die koordinierte Steuerung von physikalischer Bombardierung und chemischen Reaktionen eine hochpräzise und hochselektive Materialentfernung zu erreichen. Unterstützt die Erforschung der Halbleitertechnologie an der Spitze und die Innovation von Bauelementen.

Ausstattungsmerkmale:

1. Hohe Präzision und Anisotropie: Es können Strukturen mit steilen Seitenwänden und präzisen Abmessungen geätzt werden.
2. Gute Uniformität und Reproduzierbarkeit: geeignet für Großserienfertigung.
3. Breite Materialverträglichkeit: Durch die Wahl unterschiedlicher Gasgemische können verschiedene Materialien (Halbleiter, Dielektrika, Metalle usw.) geätzt werden.
4. Hohe Selektivitätsrate: Es kann gezielt bestimmte Materialien ätzen, ohne andere Materialien wesentlich zu beschädigen.
5. Reinigung: Trockenprozess, vermeidet Probleme wie Reinigung und Abfallbehandlung, die durch Nassätzen entstehen.

Spezifikation

Systemkonfiguration:

Elektrische Heizung	Kammer (Einzelkammer)
Elektrische Heizung		N/A
Untere Elektrodenart	242mm
Prozess-Temperaturbereich	-20-100°C
Plasmaquelle	600W-1000W
Prozessdruckmessgerät-Größe	100mtorr
Vakuumsystem	Molekularpumpeneinheiten, Trockenpumpensysteme, Prozesskammer
Anzahl der Ätzkammern	Einkammer
Schraubzwingen	TYP	Größe/mm	Material
Schraubzwingen		N/A	8、6、4、3、2
Endpunktdetektor	Option
Induktiv gekoppeltes Plasma	Option

Technische Parameter:

Etchmaterial	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Ätzrate	>20 nm/min (SiO₂-Material), Die Raten unterschiedlicher Materialien sind nicht gleich
Verteilte Steuerung	>85°
Verlademethode	Offenes Laden
Gasleitung gesteuert durch MFC	Sechs Gastanks sind verfügbar
Helium-Kühlung an der Rückseite optional	Ja
Mensch-Maschine-Schnittstelle	Bedienung über Touchscreen
Betriebsmodus	Vollautomatischer Modus, nicht vollautomatischer Modus
Auswahl und Konfiguration automatisierter Geräte	Sie können zwischen importierten oder einheimischen Teilen wählen

Anwendungsfälle

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

Seit 2014 ist Minder-Hightech Vertriebs- und Servicepartner in der Halbleiter- und Elektronikproduktindustrie. Wir sind bestrebt, unseren Kunden Superior, Reliable und One-Stop-Lösungen für Maschinen- und Anlagentechnik anzubieten. Bis heute haben sich die Produkte unserer Marke in die wichtigsten industrialisierten Länder der Welt ausgebreitet und helfen unseren Kunden dabei, die Effizienz zu steigern, Kosten zu senken und die Produktqualität zu verbessern.

FAQ

1. Preisinformationen:
Alle unsere Preise sind wettbewerbsfähig und verhandelbar. Der Preis variiert je nach Konfiguration und Komplexität der Anpassung Ihres Geräts.

2. Über Stichprobe:
Wir können Ihnen Stichprobenproduktionsdienstleistungen anbieten, Sie müssen jedoch einige Gebühren übernehmen.

3. Über die Zahlung:
Nach Bestätigung des Plans müssen Sie uns zunächst einen Vorschuss zahlen, und die Fabrik wird beginnen, die Waren vorzubereiten. Wenn das Gerät fertig ist und Sie den Restbetrag bezahlt haben, werden wir es verschicken.

4. Über Lieferung:
Nachdem die Fertigung des Geräts abgeschlossen ist, werden wir Ihnen das Akzeptanzvideo senden und Sie können auch vor Ort kommen, um das Gerät zu inspizieren.

5. Installation und Feinabstimmung:
Wenn das Gerät in Ihrer Fabrik eintrifft, können wir Ingenieure entsenden, um das Gerät zu installieren und einzustellen. Dafür werden wir Ihnen eine separate Kostenvorabschätzung bereitstellen.

6. Über die Garantie:
Unsere Geräte haben eine Garantie von 12 Monaten. Nach Ablauf der Garantieperiode werden wir bei Schäden an Ersatzteilen nur den Kostenpreis verlangen, falls diese ersetzt werden müssen.

7. Kundendienst:
Alle Maschinen haben eine Garantiezeit von über einem Jahr. Unsere technischen Ingenieure stehen Ihnen stets online zur Verfügung, um Ihnen bei der Installation, Inbetriebnahme und Wartung Ihrer Geräte zu helfen. Für spezielle und große Anlagen können wir vor Ort Installation und Inbetriebnahme anbieten.