Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Отримати ціну

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Головна сторінка
Про нас
MH Equipment
Рішення
Заграничні користувачі
Відео
Зв'яжіться з нами
Головна> Лабораторне обладнання для напівпровідників
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою
  • Машина літографії з маскою

Машина літографії з маскою

Отримайте безкоштовну пропозицію
Опис продукту

Машина літографії з маскою

Масковий вирівнювач також відомий як: масковий вирівнювач експозиційної машини, система експозиції, система літографії тощо, є ключовим обладнанням для виготовлення чипів. Вона використовує технологію, схожу на фотодрукарську, щоб надрукувати тонкі шаблони з маски на кремніеву пластину за допомогою світлової експозиції.
Характеристика
——Висока рівномірність головки експозиції fly-eye / механізм плаваючого рівнявання повітря / надійне вакуумне фіксаційне експонування.
——Вищезазначені особливості забезпечують високе розрізнення та високу рівномірність.
——Метод вирівнювання за допомогою маски зберігає стабільність та підачу субстрату, що гарантує послідовність керування гравітацією та силою.
——Використовується беззазорний прямий провідник, що забезпечує високу точність та швидкість.

Створення системи високоточного вирівнювання потребує майже ідеального точного механічного процесу. Інша технічна проблема системи вирівнювання - це вирівнювальний мікроскоп. Для того щоб збільшити поле зору мікроскопа, багато високотехнологічних літографічних машин використовують освітлення LED. Є дві системи вирівнювання з функцією фокусування. Вони головним чином складаються з двох очей та двох полів зору, спрямованих на тіло мікроскопа, одна пара окулярів та одна пара об'єктивних лінз (літографічна машина зазвичай надає окуляри та об'єктивні лізи з різним збільшенням для користувачів). Функція CCD-системи вирівнювання полягає у тому, щоб збільшити відмітки вирівнювання маски та зразка та відобразити їх на моніторі.
функція CCD-системи вирівнювання полягає у тому, щоб збільшити відмітки вирівнювання маски та зразка та відобразити їх на моніторі.
Специфікація
Виробник
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Модель
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31
MD-G33
Голова експозиції НЕ.
1 Головка експозиції
1 Головка експозиції
2 Головки експозиції
2 Головки експозиції
Тип джерела світла
Джерело світла ртутна лампа
Ультрафіолетове джерело світла
Джерело світла ртутна лампа
Ультрафіолетове джерело світла
Область експозиції
≤∅100мм
φ100мм
≤∅120мм
≥∅115мм
Режим експозиції
Контактна експозиція
технологія паралелювання мікронавантаження
технологія паралелювання мікронавантаження
технологія паралелювання мікронавантаження
Неоднорідність експозиції
∅100мм<±4%
≤±3%
∅100мм≤±6%
≤±3% Інтенсивність викладення ≥20мВт/см² (365нм,
404нм, 435нм Об'єднана УФ
Товщина субстрату
1-5мм
≤5 мм
0.1-1мм
≤5 мм
Роздільна здатність експозиції
3 мкм
1 μm
5 μм
1 μm
Діапазон освітлення
∅115мм
∅120мм
∅120мм
∅130мм
Система камери
Система розділення бінокля
двохполівна система CCD
двохполівна система CCD
двохполівна система CCD
Система мікроскопа
неперервний зум 50-375
91x ~ 570X неперервний зум (об'єктивна лінза 1.6x ~ 10x неперервний зум), діапазон регулювання відстані між подвійними об'єктивами є
50мм ~ 120мм
0.7-4.5 неперервний зум
60x, 120x неперервний зум
(збільшення об'єктива 2x, 4x два), відстань між подвійними об'єктивами регулювання 25мм-70мм
Профіль компанії
Minder-Hightech є представником з продажу та обслуговування обладнання для промисловості напівпровідників та електронних продуктів. З 2014 року компанія присвячена забезпеченню клієнтів Високоякісними, Надійними та Комплексними Розв'язками для обладнання.
FAQ
1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

Більше продуктів

Запит

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Політика конфіденційності

Запит Email Whatsapp WeChat
Top
×

ЗВ'ЯЖІТЬСЯ