EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Вступ: Це обладнання складається в основному з вакуумної камери з нержавіючої сталі, магнетронного напилювального мішені, пристрою для випаровувального нанесення покриття, зразкового столика для розміщення зразків, вакуумної насосної установки, вакуумного вимірювального манометра, системи подачі повітря та системи керування. Основний блок обладнання керується за допомогою сенсорного екрана й контролюється температурним регулятором. Його цифровий інтерфейс параметрів та автоматизована робота забезпечують користувачам відмінну платформу для досліджень і розробок. Вакуумна камера має конструкцію з нижньою мішенню, а зразковий столик оснащений функціями нагріву та обертання, що забезпечує більш рівномірне нанесення покриття. Система створення вакууму в цьому обладнанні використовує двоступеневу групу вакуумних насосів. Передній ступінь — це швидкісний механічний насос, який ефективно скорочує час від атмосферного тиску до низького вакууму. Основний насос — турбомолекулярний насос з високою швидкістю відкачки та швидшим набором вакууму. Загалом система створення вакууму є чистою й швидкою.
Застосування: може використовуватися для отримання тонких фероелектричних плівок (одношарових або багатошарових), провідних плівок, сплавних плівок, напівпровідникових плівок, керамічних плівок, діелектричних плівок, оптичних плівок тощо.
