MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine , China MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine Manufacturers, Suppliers, Factory - Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Опис продукту

MDZY-DMD-MLL200
DMD безмаскова літографічна машина

MDZY-DMD-MLL200 — це безмаскова літографічна машина, що базується на технології DMD (Digital Micromirror Device). Замінюючи традиційні маски на DMD, вона дозволяє швидко та гнучко проектувати літографічні малюнки, підтримуючи 2D-літографію та 8-бітну літографію з відтінками сірого. Машина може задовольняти будь-які потреби у мікронному масштабі та широко використовується в різних галузях, таких як MEMS і мікрофлюїдика.

Характеристики

1. Компактний настільний дизайн
2. Світловий джерело експозиції з потужним світлодіодом високої рівномірності
3. Зелений світловод для експозиції
4. Автоматичне фокусування зображення за допомогою камери CCD
5. Високоточний лінійний двигун столика
6. Зручний інтерфейс програмного забезпечення

Параметри

Довжина хвилі центру УФ-джерела світла	405 нм
Рівномірність експозиції	Більше 90%
Мінімальна ширина лінії риси	0,5 мкм
Площа експозиції поля запису за один прохід	0,16*0,16 мм (@0,5 мкм)
Швидкість запису	80 мм²/хв (ширина лінії рисок 1 мкм)
Підтримувані формати зображень	DXF, GDS, bmp, png тощо

Налаштування

Налаштування	Базова версія	Професійна версія
Джерело світла	Світлодіод високої потужності: 405 нм
Мікрочип DMD	DLP6500
Площа експонування за один прохід	0.160.16 мм (@0.5 мкм), 0.40.4 мм (@0.7 мкм), 0.80.8 мм (@1 мкм), 1.61.6 мм (@2 мкм)
Камера	Камера великого поля зору для мікроскопа (підтримує вимірювання розмірів)
Мінімальна ширина ліній з однаковим кроком	0.8 µм	0.5μm
Точність стыкування	±0,3 мкм	±0,3 мкм
Точність накладання	±0,5 мкм	±0,5 мкм
Швидкість запису	20 мм²/хв (лінія рисунку 1 мкм)	80 мм²/хв (лінія рисунку 1 мкм)
Рухомий етап	Високоточний лінійний двигун (точність повторюваного позиціонування ±0,25 мкм), механізм вирівнювання, ручний обертальний стіл	Високоточний лінійний двигун (точність повторюваного позиціонування ±0,25 мкм), механізм вирівнювання, електричний обертальний стіл
Перемикач об'єктивів	Ручне перемикання об'єктивів	Моторизоване перемикання об'єктивів
Модуль фокусування	Автоматичне фокусування зображення CCD	Лазерне активне фокусування
Підтримувані розміри пластин	4 дюйми	4-дюймові/8-дюймові
Товщина зразка	0-10мм	0-10 мм

Вимоги

Мікрофлюїдна плата

DMD УФ літографія для функції накладання

Травлення телуридних нанограток із подальшим нанесенням електродів

Гравірування за допомогою серійної літографії Френелівських лінз, тривимірна серійна літографія Френелівських лінз, що показує безперервні ступінчасті зміни на поперечному зображенні зі скануючого електронного мікроскопа

Електроди з двовимірних матеріалів, електроди з двовимірних матеріалів після випаровування та відшарування, випаровані електроди — Ti/Au/Ti (загалом 12 нм)

Поєднана DMD УФ та електронно-променева літографія

Програмне забезпечення

Користувачі можуть виконати всі операції літографії з головного інтерфейсу без будь-яких спливаючих вікон.

Модуль обрізки зображення:

Містить функції, такі як користувацька обрізка, автоматичне заповнення, інверсія кольору та згладжування.

Прив'язка об'єктів:

Користувачі можуть встановлювати прив'язку об'єктів у будь-якому місці на поверхні зразка та одночасно переглядати відповідність між будь-яким підзображенням на повному полі зображення та поверхнею зразка, забезпечуючи точне накладання.

Функція сіту-малювання:

Графічні елементи можна малювати безпосередньо на мікроскопічному зображенні та проектувати на зразок для реалізації сіту-фотолітографії.

Обладнання оригінальних знімків

Упаковка та доставка

Профіль компанії

З 2014 року компанія Minder-Hightech є представником з продажу та обслуговування в галузі обладнання для напівпровідникового та електронного виробництва. Ми прагнемо надавати клієнтам високоякісні, надійні та комплексні рішення для обладнання. На сьогоднішній день наші продукти поширені в більшості індустріальних країн світу, допомагаючи клієнтам підвищувати ефективність, знижувати витрати та поліпшувати якість продукції.

ЧаП

1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

7. Післяпродажне обслуговування:
Усі машини мають гарантійний термін більше одного року. Наші технічні інженери завжди онлайн, щоб надати вам послуги з встановлення, налаштування та обслуговування обладнання. Ми можемо надати послуги з встановлення та налаштування на місці для спеціального та великого обладнання.

Головна сторінка

Про компанію

Обладнання MH

Рішення

Заграничні Користувачі

Відео

Зв'яжіться з нами

MDZY-DMD-MLL200 DMD Maskless Lithography Machine