Характеристики обладнання
1. Це обладнання призначене для лазерного підлаштування напівпровідникових пластин преміум-класу.
2. Обладнане лазером, імпортованим зі Сполучених Штатів Америки, що забезпечує виняткову стабільність під час лазерного підлаштування.
3. Має антиперешкодну XY-стійку з лінійним двигуном високої точності та штриховою шкалою, що ефективно зменшує вплив машинних перешкод на продукти.
4. Вбудована CCD-камера з роздільною здатністю 12 мегапікселів забезпечує точне позиціонування.
5. Має ахроматичну технологію формування зображень та можливості розпізнавання зображень для позиціонування.
6. Має інтерфейси GPIB та інші зовнішні інтерфейси для підключення зовнішніх приладів з метою вимірювання або коригування опору.
7. Мармурова основа забезпечує виняткову стабільність обладнання.
Технічні параметри
Модель |
MDSG-LT74 |
Довжина хвилі лазера |
1064/355 нм |
Потужність лазера |
6 Вт/4 Вт |
Типовий розмір плями |
25-35мкм |
Метод фокусування |
Автоматичний, керований комп’ютерною програмою. |
Метод охолодження |
Повітряне охолодження |
Діапазон руху лазерного променя |
27 мм × 27 мм |
Роздільна здатність руху |
0.76мкм |
Точність повторного позиціонування |
±2,5 мкм |
Режим руху |
Лінійний двигун із антиперешкодними штриховими лінійками |
Діапазон руху) |
300 мм × 300 мм |
Точність повторного позиціонування |
±1 мкм |
Метод вимірювання опору |
чотирипровідне вимірювання |
Точність вимірювання опору |
±0,02 % (середній опір) |
Діапазон вимірювання опору |
0.1ом–50 МОм |
Швидкість вимірювання |
4 мкс/вимірювання |
Корекція похибки нуля та повного масштабу |
Автоматична корекція |
Визначення зонда |
Програмована довільна настройка |
Інтерфейс |
GPIB |
Розмір обладнання |
1430 x 913 x 1747 мм |
Вага |
617 кг |
Експлуатаційні умови (вода, електроенергія, газ) |
Вологість: <70 %; Електроживлення: змінний струм 220 В, 2,5 кВт; Стиснене повітря: <0,6 МПа, <40 л/хв |
Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені