Матеріал травлення Осаждення Реакція Йонне травлення Машина RIE , China Матеріал травлення Осаждення Реакція Йонне травлення Машина RIE Manufacturers, Suppliers, Factory - Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Опис продукту

RIE Машинa реакційного іонного травлення

Дослідницьке застосування машин реакційного іонного травлення RlE у виробництві напівпровідників і мікро-нанообробці переважно проявляється в обробці нанорозмірних структур, травленні нових матеріалів, виготовленні складних пристроїв та прориві в міждисциплінарних технологіях. Їхня основна цінність полягає в досягненні високоточної та високоселективної обробки матеріалів за допомогою координованого контролю фізичного бомбардування й хімічних реакцій. Підтримує дослідження на передньому краї напівпровідникової технології та інноваційні пристрої.

Характеристики обладнання:

1. Висока точність і анізотропність: може виконувати травлення зображення зі стрімкими бічними стінками та точними розмірами.
2. Добра однорідність і відтворюваність: придатна для масового виробництва.
3. Широка примінність матеріалів: шляхом вибору різних газових комбінацій можна травити різноманітні матеріали (напівпровідники, діелектрики, метали тощо).
4. Високий коефіцієнт селективності: дозволяє точно травити певні матеріали, не завдаючи значної шкоди іншим матеріалам.
5. Очищення: сухий процес, уникнення проблем, пов'язаних з очищенням та обробкою стічних вод під час мокрого травлення.

Специфікація

Конфігурація системи:

Електричне опалення	Камера (однокамерна)
Електричне опалення		Н/Д
Тип нижнього електрода	242mm
Температурний діапазон процесу	-20-100°C
Plasma source	600 Вт - 1000 Вт
Розмір манометра процесу	100 мторр
Вакуумна система	Молекулярні насосні установки, сухі насосні системи, робоча камера
Кількість етчингових камер	Одна порожнина
Застежки	Тип	Розмір/mm	Матеріал
Застежки		Н/Д	8、6、4、3、2
Детектор кінцевої точки	Опція
Індуктивно зв’язана плазма	Опція

Технічні параметри:

Матеріал для етчингу	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Швидкість етчингу	>20 нм/хв (матеріал SiO2). Швидкості для різних матеріалів відрізняються
Розподілений контроль	>85°
Метод завантаження	Відкрите завантаження
Газопровід керований МРК	Доступні шість газових балонів
Опція охолодження зворотного боку гелієм	Так
Інтерфейс човек-машина	Керування сенсорним екраном
Режим роботи	Повністю автоматичний режим, не повністю автоматичний режим
Вибір та налаштування автоматизованих пристроїв	Можна вибрати імпортні або вітчизняні комплектуючі

Вимоги

Упаковка та доставка

Профіль компанії

З 2014 року компанія Minder-Hightech є представником з продажу та обслуговування в галузі обладнання для напівпровідникового та електронного виробництва. Ми прагнемо надавати клієнтам високоякісні, надійні та комплексні рішення для обладнання. На сьогоднішній день наші продукти поширені в більшості індустріальних країн світу, допомагаючи клієнтам підвищувати ефективність, знижувати витрати та поліпшувати якість продукції.

ЧаП

1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

7. Післяпродажне обслуговування:
Усі машини мають гарантійний термін більше одного року. Наші технічні інженери завжди онлайн, щоб надати вам послуги з встановлення, налаштування та обслуговування обладнання. Ми можемо надати послуги з встановлення та налаштування на місці для спеціального та великого обладнання.