Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE , China Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Ürün Açıklaması

Reaktif iyon oyumu (RIE)

Reaktif iyon etçilmesi (RIE), mikro-nano yapıları hazırlamak için kullanılabilir ve yarıiletken üretim süreç teknolojilerinden biridir. RIE etçilme süreci sırasında, plazmadaki çeşitli aktif parçacıklar malzeme yüzeyiyle yanardaş ürünler oluşturur. Bu ürünler malzeme yüzeyinden uzaklaştırılır ve sonunda malzemenin yüzeyinde anizotropik mikroyapı etçilmesi yapılır. Reaktif iyon etçilici (RIE) serisi ürünler, düz tablalı kapasitansiyel bağlı plazma teknolojisine dayanmaktadır ve tekristal silikon, polikristal silikon, silikon nitrit (SiNy), silikon oksit (SiO), kuytuş (Quartz) ve silikon karbid (SiC) gibi silikon malzemelerinin desenli etçilmesi için uygunlardır; fotoğraf direnci (PR), PMMAHDMS ve diğer organik maddeler gibi organik maddelerin desenlemesi ve malzeme katmanlarının ayrılması için kullanılabilir; nikel (Ni), crom (Cr) ve keramik maddeler gibi metal maddelerinin fiziksel etçilmesi için kullanılabilir; oda sıcaklığında indium fosfid (InP) malzeme etçilmesi için kullanılabilir. Bazı daha yüksek süreç gereksinimlerine sahip etçilmeler için, ICP RIE etçilme de kullanılabilir.

Ana yapılandırma:

1. Destek örnek hacmi: 4, 8, 12 inç, çeşitli küçük boyutlu örneklerle uyumlu, özelleştirme desteği var
2. RF plazma gücü aralığı: 300/500/1000 W seçeneği;
3. Moleküler pompa: 620/1300 //s seçeneği, isteğe bağlı anti-korozyon pompa seti;
4. Ön pompa: mekanik yağlı pompa/kuruyu pompa seçeneği;
5. Basınç kontrolü: 0 ~1 Torr seçeneği; basınç kontrolü modu yapılandırması da seçilabilir.
6. Süreç gazı: aynı anda en fazla 9 süreç gazı takılabilir; sıcaklık: 10 derece ~ oda sıcaklığı/-30 derece~ oda sıcaklığı/özelleştirilebilir sıcaklık aralığı,
7. Uygulamaya göre arka helyum soğutması yapılandırılabilir;
8. Kaldırılabilir anti-kirlilik kaplama;
9. Yük kilidi seçmeli;
10. Tam otomatik tek-düğme kontrol sistemi;

RIE Uygun Malzemeler:

1. Silikon tabanlı malzemeler: silikon (Si), silikon dioksit (SiO2), silikon nitrit (SiNx), silikon karbür (SiC)
2. III-V malzemeler: indiyum fosfid (InP), galium arsenik (GaAs), galium nitrit (GaN)
3. II-VI malzemeler: kadmiyum tellürid (CdTe)
4. Manyetik malzemeler/alloy malzemeler
5. Metal malzemeler: alüminyum (AI), altın (Au), tungsten (W), titan (Ti), tantalum (Ta)
6. Organik malzemeler: fotoresist (PR), organik polimer (PMMA/HDMS), org

RIE İlişkili Uygulamalar:

1. Silikon tabanlı malzemelerin oksitlenmesi, nano damga kalıpları, dizi kalıpları ve mercek kalıpları;
2. Oda sıcaklığındaki indium fosfide (InP) oksitlenmesi, optik iletişimdeki InP tabanlı cihazların kalıplı oksitlenmesi, dalga rehberi yapıları, rezonans boşluk yapıları ve yuvarlak yapılar dahil;
3. SiC malzemelerinin oksitlenmesi, mikrodalga cihazlar, güç cihazları vb. için uygun;
4. Fiziksel sputtering oksitlenmesi, nikel (Ni), crom (Cr) gibi belirli metallere, seramiklere ve kimyasal olarak oksitlenmesi zor olan diğer malzemelere uygulanır ve malzemenin desenli oksitlenmesi fiziksel bombartıman yoluyla elde edilir;
5. Organik malzemelerin oksitlenmesi, foto direnç (Photo Resist), PMMA, HDMS, Polimer gibi organik malzemelerin oksitlenmesine, temizlenmesine ve kaldırılmasına uygulanır;
6. Çip başarısızlık analizi (Failure Analysis-FA) için katman çıkarma oksitlenmesi;
7. İki boyutlu malzemelerin oksitlenmesi: W, Mo iki boyutlu malzemeleri, grafen;

Uygulama Sonuçları:

Proje yapılandırması ve makine yapısı şeması

Ürün	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Ürün Boyutu	≤6 inç	≤8 inç	≤8 inç
RF güç kaynağı	0-300W/500W/1000W Ayarlanabilir, otomatik eşleşme
Moleküler Pomp	-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel			Antiseptik620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Özel
Foreline pompa	Mekanik pompa\/kurutma pompa			Kuru Pompa
İşlem basıncı	Denetlenmeyen basınç\/0-1Torr denetlenebilir basınç
Gaz tipi	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Özel (En fazla 9 kanal, korozyonlu ve zehirli gaz yok)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(En fazla 9 kanal)
Gaz aralığı	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/özel
YükKilidi	Evet/Hayır			Evet
Örnek sıcaklık kontrolü	10°C~Oda sıcaklığı/-30°C~100°C/Ozel			-30°C~100°C /Ozel
Arka helyum soğutma	Evet/Hayır			Evet
İşlem boşluk kaplama	Evet/Hayır			Evet
Boşluk duvarı sıcaklık kontrolü	Hayır/Odasıcaklığı~60/120°C			Odasıcaklığı-60/120°C
Kontrol Sistemi	Otomatik/özel
Oksitlenme malzemesi	Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Manyetik maddeler/alloy maddeler Metal malzeme: Ni/Cr/Al/Au..... Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS/Organik film......			Silikon tabanlı: Si/SiO2/SiNx...... III-V (Not 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (Not 3): CdTe...... Manyetik maddeler/alloy maddeler Metal malzeme: Ni/Cr/A1/Au...... Organik malzeme: PR/PMMA/HDMS /organik film...

Laboratuvarlar ve Fabrikaların Gerçek Fotoğrafları

Paketleme ve Teslimat

Şirket Profili

Minder-Hightech, semi-iletki ve elektronik ürün endüstrisi ekipmanlarında satış ve hizmet temsilcisi dir. 2014'ten beri, şirket müşterilere Üstün, Güvenilir ve Tek Nokta Çözümler sunmayı hedeflemektedir.

SSG

1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir ön ödeme yapmanız gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemenizi yaptığınızda, gönderimi gerçekleştireceğiz.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

Anasayfa

Hakkımızda

MH Equipment

Çözüm

Yurtdışı Kullanıcılar

Video

Bize Ulaşın

Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE

Reaktif iyon oyumu (RIE)

Ana yapılandırma:

RIE Uygun Malzemeler:

RIE İlişkili Uygulamalar:

Daha Fazla Ürün

MD-FS Serisi Kapasitör sarım makinesi

MD-FDS Serisi Otomatik Kapasitör sarım makinesi

MD-EFS Serisi Kapasitör Sarım Makinesi

MD-EDFS Serisi Film Kapasitör Sarım Makinesi

Sorgu

Articles

Products

Get In Touch

Reaktif İyon Oyma Sistemi RIE

Reaktif iyon oyumu (RIE)

Ana yapılandırma:

RIE Uygun Malzemeler:

RIE İlişkili Uygulamalar:

Daha Fazla Ürün

Sorgu

Articles

Products

Get In Touch

İLETİŞİME GEÇİN