
UV ışık kaynağı merkez dalga boyu |
405nm |
Maruz kalma düzgönlüğü |
%90'dan fazla |
Minimum özellik çizgi genişliği |
0,5 µm |
Tek geçişte yazma alanı maruziyet alanı |
0,16*0,16 mm (@0,5 µm) |
Yazma hızı |
80 mm²/dk (1µm hat genişliği) |
Desteklenen görüntü formatları |
DXF, GDS, bmp, png vb. |
Konfigürasyon |
Temel sürüm |
Profesyonel sürüm |
|
Işık kaynağı |
Yüksek güçlü LED: 405nm |
||
DMD çipi |
DLP6500 |
||
Tek alan pozlama alanı |
0,16*0,16mm (@0,5µm), 0,4*0,4mm (@0,7µm), 0,8*0,8mm (@1µm), 1,6*1,6mm (@2µm) |
||
KAMERA |
Geniş alanlı mikroskop kamerası (boyut ölçümünü destekler) |
||
Minimum eşit aralıklı çizgi genişliği |
0.8 µm |
0.5μm |
|
Birleştirme doğruluğu |
±0,3 µm |
±0,3μm |
|
Bindirme doğruluğu |
±0,5 µm |
±0,5 μm |
|
Yazma hızı |
20 mm²/dakika (1 µm özellik çizgi genişliği) |
80 mm²/dakika (1µm özellik çizgi genişliği) |
|
Hareketli sahne |
Yüksek hassasiyetli lineer motor (tekrarlanabilir konumlandırma doğruluğu ±0,25µm), seviyeleme mekanizması, manuel döner sahne |
Yüksek hassasiyetli lineer motor (tekrarlanabilir konumlandırma doğruluğu ±0,25 µm), seviyeleme mekanizması, elektrikli döner tabla |
|
Obje lens değiştirici |
Manuel obje lens geçişi |
Motorlu obje lens geçişi |
|
Odaklama modülü |
CCD görüntü otomatik odaklama |
Lazer aktif odaklama |
|
Desteklenen wafer boyutları |
4 inç |
4 inç/8 inç |
|
Numune kalınlığı |
0-10mm |
0-10 mm |
|















Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır