Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Teklif Al

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Ana Sayfa
Hakkımızda
MH Ekipmanı
Çözüm
Yurtdışı Kullanıcılar
Video
Bize Ulaşın
Ana Sayfa> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE
  • Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE

Malzeme aşındırma Biriktirme Reaksiyon İyon Aşındırma Makinesi RIE

Ücretsiz Teklif Alın
Ürün Açıklaması

RIE Reaktif İyon Aşındırma Makinesi

RIE reaktif iyon aşındırma makinelerinin yarıiletken üretim ve mikro-nano işleme alanlarında araştırmaya yönelik uygulamaları, öncelikle nanometre ölçekli yapıların işlenmesinde, yeni malzemelerin aşındırılmasında, karmaşık cihazların üretiminde ve disiplinler arası teknolojilerdeki atılımlarda kendini gösterir. Bu makinelerin temel değeri, fiziksel bombardıman ve kimyasal reaksiyonların birlikte kontrol edilmesiyle yüksek hassasiyetli ve seçici malzeme kaldırma imkanı sağlamasıdır. Yarıiletken teknolojisinin ve cihazların yeniliklerinin öncü alanlarının araştırılmasına destek sağlar.

Ekipman özellikleri:

1. Yüksek hassasiyet ve anizotropi: Dik yan duvarlı ve hassas boyutlara sahip şekillerin aşındırılmasını sağlar.
2. İyi düzgün dağılım ve tekrarlanabilirlik: Büyük ölçekli üretime uygundur.
3. Geniş malzeme uygulanabilirliği: Farklı gaz kombinasyonları seçerek çeşitli malzemeler (yarı iletkenler, dielektrikler, metaller vb.) aşındırılabilir.
4. Yüksek seçicilik oranı: Diğer malzemelere önemli ölçüde zarar vermeden belirli malzemeleri hassas bir şekilde aşındırabilir.
5. Temizlik: Nemli aşındırmanın neden olduğu temizlik ve atık sıvı arıtma gibi sorunlardan kaçınan kuru süreç.
Speksiyasyon
Sistem yapılandırması:
Elektrikli ısıtma
Kabin (Tek odacıklı)
N/A
Alt elektrot tipi
242mm
İşlem sıcaklık aralığı
-20-100°C
Plazma kaynağı
600W-1000W
İşlem basıncı göstergesi boyutu
100mtorr
Vakum sistemi
Moleküler pompa üniteleri, kuru pompa sistemleri, proses odası
Aşındırma odalarının sayısı
Tek boşluk
Çaplamalar
TUR
Boyut/mm
Malzeme
N/A
8、6、4、3、2
Uç nokta dedektörü
Seçenek
İndüktif olarak bağlanmış plazma
Seçenek
Teknik Parametre：
Oksitlenme malzemesi
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Aşındırma hızı
>20nm/dak (Si02 malzemesi) Farklı malzemelerin hızları aynı değildir
Dağıtılmış kontrol
>85°
Yükleme yöntemi
Açık yükleme
MFC tarafından kontrol edilen gaz borusu
Altı adet gaz tankı mevcuttur
Helyum arka soğutma seçeneği
Evet
İnsan-makina arayüzü
Dokunmatik ekran kullanımı
Çalışma Modu
Tam otomatik mod, tam otomatik olmayan mod
Otomatik cihazların seçilmesi ve yapılandırılması
İthal ya da yerli parçaları seçme imkanınız vardır
Uygulama Örnekleri
Paketleme ve Teslimat
Şirket Profili
2014'ten beri Minder-Hightech, yarı iletken ve elektronik ürün endüstrisi ekipmanlarında satış ve hizmet temsilcisi olarak faaliyet göstermektedir. Müşterilere makine ekipmanları konusunda Üstün, Güvenilir ve Tek Noktada Çözümler sunmayı taahhüt etmekteyiz. Bugüne kadar markamızın ürünleri dünya çapındaki büyük sanayileşmiş ülkelere yayılmış olup müşterilerimizin verimliliğini artırmalarına, maliyetlerini düşürmelerine ve ürün kalitelerini iyileştirmelerine yardımcı olmuştur.
SSS
1. Fiyat Hakkında:
Tüm fiyatlarımız rekabetçi ve müzakere edilebilir. Fiyat, cihazınızın yapılandırmasına ve özelleştirme karmaşıklığına bağlı olarak değişir.

2. Örnek Hakkında:
Sizin için örnek üretim hizmetleri sunabiliriz, ancak bazı ücretler ödemelisiniz.

3. Ödeme Hakkında:
Plan onaylandıktan sonra, önce bize bir ön ödeme yapmanız gerekir ve fabrika malzemeleri hazırlamaya başlayacak. Ekipman hazır olduğunda ve kalan ödemenizi yaptığınızda, gönderimi gerçekleştireceğiz.

4. Teslimat Hakkında:
Ekipman üretimi tamamlandığında, size kabul videosunu göndereceğiz ve ayrıca ekipmanı incelemek için yere gelebilirsiniz.

5. Kurulum ve Ayarlama:
Ekipman fabrikana ulaştığında, mühendislerimizi göndererek ekipmanı kurup ayarlayabiliriz. Bu hizmet için ayrı bir fiyat teklif edeceğiz.

6. Garanti Hakkında:
Ekipmalarımız 12 aylık garanti süresine sahiptir. Garanti süresinin sonunda, herhangi bir parça hasar görmüşse ve değiştirilmesi gerekiyorsa, sadece maliyet fiyatını alırız.

7. Satış Sonrası Hizmet:
Tüm makinelerin bir yıldan fazla garanti süresi vardır. Teknik mühendislerimiz her zaman çevrimiçidir ve size ekipman kurulumu, ayarlaması ve bakım hizmetleri sağlar. Özel ve büyük ekipmanlar için saha kurulumu ve ayarlama hizmeti sunabiliriz.

Diğer Ürünler

Sorgulama

Telif Hakkı © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Tüm Hakları Saklıdır

Gizlilik Politikası

Sorgulama Email WhatsApp ÜST
×

İletişime Geç