MCXJ-MLS8 Maskless lithography System , China MCXJ-MLS8 Maskless lithography System Manufacturers, Suppliers, Factory

Paglalarawan ng Produkto

Halimbawa:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Diagrama ng estraktura ng kagamitan

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Espesipikasyon

Diagrama ng estraktura ng pangunahing eksposur

istraktura	magbigay ng halimbawa
Pagsasagawa ng mesa	Lugar ng eksposur: mesa, lugar ng paglalagay ng substrate
Optical System	Laser emission pormasyon lugar
Sistemang pang-eksbensa	Kontrol ng temperatura at positibong presyon sa loob ng kagamitan
Sistemang platform	Nakikontrol ang paggalaw ng lamesa ng pagsisiyasat upang makumpleto ang operasyon ng landas ng pagsisiyasat
Control System	Sistematikong kontrol ng buong kagamitan

Tandaan: Dahil sa upgrade ng makina, maaaring baguhin ang tunay na anyo, ang tiyak ay babased sa tunay na produkto.

Hindi	Kapaligiran	Kailangan
1	Kaligirang pinagmulan ng liwanag	Dilaw na ilaw
2	Temperatura	22℃±2℃
3	Halumigmig	50%±10%
4	Kalinisan	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, tahimik, malinis na hangin
6	Supply ng Kuryente	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Dapat maground ang talian ng lupa,
7	Tubig para sa Paggamot	Temperatura：10℃~ 20℃ Presyon：0.3MPa ~ 0.5MPa Rate ng Pagpupunta：20L/min Kulang na Presyon：0.3MPa o higit pa Tumanggap ng kalibre：Rc3/8
8	Lugar	antas：±3mm/3000mm pagkakalito：VC-B Bearing：750kg/㎡
10	Internet	Isang network port
11	Sukat ng makina	130011002100mm
12	Timbang ng aparato	1500kg

Hindi	Proyekto	Mga detalye.	Puna
1	Resolusyon	0.6um/o iba pang kailangan	AZ703、AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Lakas ng substrate	0.2mm～4mm
4	Katumpakan ng petsa	60nm
5	Overlay	±500nm	130mmx130mm
6	Katumpakan ng pag-stitch	±200nm	AZ703
7	PINAKA DAGDAG NA SUKAT NG PAGBABASA	190X190mm
8	Throughput	≥300mm²/min	≤50mj/cm²;
9	pinagmulan ng ilaw	LD 375nm
10	liwanag na kapangyarihan	6W
11	KATUWANG NG ENERHIYA	≥95%
12	buhay ng ilaw	10000hr

Pakete & Paghahatod

Company Profile

Mayroon kaming 16 taong karanasan sa pagbebenta ng makinarya. Maaari naming ibigay sa iyo ang One-stop Semiconductor Front-end at Back end Package Line equipments na solusyon mula sa Tsina.