รุ่น: MDVES200
การประยุกต์ใช้งาน:
โมดูล IGBT, องค์ประกอบ TR, MCM, แพ็คเกจวงจรไฮบริด, แพ็คเกจอุปกรณ์แยกส่วน, แพ็คเกจเซ็นเซอร์/MEMS (เย็นด้วยน้ำ), แพ็คเกจอุปกรณ์กำลังสูง, แพ็คเกจอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์, แพ็คเกจที่กันอากาศ (เย็นด้วยน้ำ), การเชื่อมบัมเปอร์อัลลอยด์ เป็นต้น
เตาอบแบบรีฟโลว์ยูเทกติกส์สุญญากาศเป็นอุปกรณ์ที่ใช้หลักการให้ความร้อนภายใต้สุญญากาศเพื่อจัดเตรียมสภาพแวดล้อมในการประมวลผลสำหรับสารประสานโลหะผสมของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์


บทนำ:
ฐานการออกแบบของเตาเผาสุญญากาศ MDVES200 เป็นการควบคุมสุญญากาศและการระบายความร้อนด้วยน้ำ ซึ่งสามารถไม่เพียงแต่รับประกันอัตราความว่างเปล่า แต่ยังเพิ่มอัตราการเย็นได้อีกด้วย
ก๊าซมาตรฐานของ MDVES200 รวมถึง: ไนโตรเจน, ก๊าซผสมไนโตรเจน-ไฮโดรเจน (95%/5%) และฟอร์มิกแอซิด ลูกค้าเลือกก๊าซที่เหมาะสมตามสถานการณ์จริงของเขาโดยไม่ต้องกังวลเรื่องการกำหนดค่าเพิ่มเติม ระบบควบคุม PLC ของเครื่องสามารถตรวจสอบการทำงานของการสูบสุญญากาศ การเป่าลมเข้า การควบคุมความร้อน และการระบายความร้อนด้วยน้ำ เพื่อรับรองความเสถียรของกระบวนการของลูกค้า
MUX200 เป็นช่องความจุ 10L ประสิทธิภาพต้นทุนของผลิตภัณฑ์ค่อนข้างสูง ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของลูกค้าในการวิจัยและผลิตได้
การประยุกต์ใช้งาน:
โมดูล IGBT, องค์ประกอบ TR, MCM, แพ็คเกจวงจรไฮบริด, แพ็คเกจอุปกรณ์แยกส่วน, แพ็คเกจเซ็นเซอร์/MEMS (เย็นด้วยน้ำ), แพ็คเกจอุปกรณ์กำลังสูง, แพ็คเกจอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์, แพ็คเกจที่กันอากาศ (เย็นด้วยน้ำ), การเชื่อมบัมเปอร์อัลลอยด์ เป็นต้น
1. MDVES200 เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพทางเศรษฐกิจ มีขนาดเล็กแต่ฟังก์ชันครบถ้วน สามารถตอบสนองการใช้งานด้าน R&D และการผลิตเริ่มต้นของลูกค้าได้;
2. การตั้งค่ามาตรฐานด้วยฟอร์มิกแอซิด ไนโตรเจน และก๊าซไนโตรเจน-ไฮโดรเจนสามารถตอบสนองความต้องการด้านก๊าซของผลิตภัณฑ์หลากหลายประเภทของลูกค้า โดยไม่มีปัญหาเรื่องการเพิ่มท่อส่งก๊าซกระบวนการในอนาคต;
3. การใช้ระบบควบคุมการระบายความร้อนด้วยน้ำสามารถเพิ่มอัตราการระบายความร้อน ทำให้อัตราการผลิตเพิ่มขึ้นและเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตสูงสุดได้; 4. เมื่อลูกค้าเกี่ยวข้องกับการปิดผนึกสุญญากาศของเปลือกท่อ ระบบออกแบบการระบายความร้อนด้วยน้ำจะเน้นข้อได้เปรียบอย่างชัดเจน และหลีกเลี่ยงปัญหาที่เกิดจากการระบายความร้อนด้วยอากาศซึ่งอาจทำให้แผ่นท่อและเปลือกท่อมีรอยทะลุ
ขนาดโครงสร้าง | |
โครงพื้นฐาน |
820*820*1000mm |
ปริมาตรช่องว่าง |
10L |
ความสูงสูงสุดของฐาน |
110 มม |
หน้าต่างการสังเกต |
รวม |
น้ำหนัก |
220 กก |
ระบบสูบ | |
ปั๊มสุญญากาศ |
เครื่องสูบสุญญากาศพร้อมอุปกรณ์กรองมลพิษจากน้ำมัน |
ระดับสุญญากาศ |
สูงสุด 5Pa |
การตั้งค่าสุญญากาศ |
1. ปั๊มสุญญากาศ 2. วาล์วไฟฟ้า |
การควบคุมความเร็วในการสูบลม |
ความเร็วในการสูบสุญญากาศของปั๊มสุญญากาศสามารถตั้งค่าได้ผ่าน ซอฟต์แวร์คอมพิวเตอร์หลัก |
ระบบปนูเมติก | |
แก๊สกระบวนการ |
N2, N2 / H2 (95% / 5%), HCOOH |
เส้นทางก๊าซแรก |
ไนโตรเจน/สารผสมไนโตรเจน-ไฮโดรเจน (95%/5%) |
เส้นทางก๊าซที่สอง |
HCOOH |
ระบบการอุ่นและทำความเย็น | |
วิธีการทําความร้อน |
การอุ่นด้วยการแผ่รังสี การนำผ่านการสัมผัส อัตราการอุ่น 150℃/min |
วิธีการระบายความร้อน |
การทำความเย็นด้วยการสัมผัส อัตราการเย็นสูงสุดคือ 120℃/min |
วัสดุของจานร้อน |
โลหะผสมทองแดง ความสามารถในการนำความร้อน: ≥200 วัตต์/เมตร·°เซลเซียส |
ขนาดการให้ความร้อน |
240*210mm |
อุปกรณ์ทำความร้อน |
อุปกรณ์ให้ความร้อน: ใช้หลอดให้ความร้อนสุญญากาศ; การวัดอุณหภูมิทำ โดยโมดูล PLC ของซีเมนส์ และควบคุมด้วยระบบ PID โดยคอมพิวเตอร์หลักของ Advantech |
ช่วงอุณหภูมิ |
สูงสุด 400°เซลเซียส |
ความต้องการพลังงาน |
380V, 50/60HZ สามเฟส สูงสุด 40A |
ระบบควบคุม |
Siemens PLC + IPC |
กำลังไฟของอุปกรณ์ | |
น้ํายาเย็น |
สารกันเย็นหรือน้ำกลั่น ≤20℃ |
ความดัน: |
0.2~0.4Mpa |
อัตราการไหลของน้ำหล่อเย็น |
>100L/min |
ความจุของถังน้ำ |
≥60L |
อุณหภูมิน้ำทางเข้า |
≤20℃ |
แหล่งพลังงานลม |
0.4MPa≤แรงดันอากาศ≤0.7MPa |
การให้พลังงาน |
ระบบสายเดี่ยวสามสาย 220V, 50Hz |
ช่วงการเปลี่ยนแปลงของแรงดันไฟฟ้า |
เฟสเดียว 200~230V |
ช่วงการเปลี่ยนแปลงของความถี่ |
50HZ±1HZ |
การใช้พลังงานของอุปกรณ์ |
ประมาณ 5 กิโลวัตต์; ความต้านทานการต่อกราวด์ ≤4 โอห์ม |
การกำหนดค่ามาตรฐาน
ระบบโฮสต์ |
รวมถึงห้องสุญญากาศ เฟรมหลัก ฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ควบคุม |
ท่อไนโตรเจน |
สามารถใช้ไนโตรเจนหรือสารผสมของไนโตรเจน/ไฮโดรเจนเป็นก๊าซกระบวนการได้ |
ท่อกรดฟอร์มิก |
นำกรดฟอร์มิกเข้าสู่ห้องกระบวนการผ่านไนโตรเจน |
ท่อระบายความร้อนด้วยน้ำ |
ระบายความร้อนให้ฝาบน ช่องล่าง และแผ่นทำความร้อน |
เครื่องเย็นน้ํา |
จัดหาการระบายความร้อนด้วยน้ำอย่างต่อเนื่องให้กับอุปกรณ์ |
ปั๊มสุญญากาศ |
ระบบปั๊มสุญญากาศพร้อมการกรองหมอกน้ำมัน |
เงื่อนไขในการใช้งาน
อุณหภูมิ |
10~35℃ |
ความชื้นสัมพัทธ์ |
≤80% |
|
สภาพแวดล้อมรอบอุปกรณ์สะอาดและเป็นระเบียบ อากาศบริสุทธิ์ และควรไม่มี ฝุ่นหรือก๊าซที่อาจก่อให้เกิดการกัดกร่อนต่ออุปกรณ์ไฟฟ้าและพื้นผิวโลหะอื่นๆ หรือ ทำให้เกิดการนำไฟฟ้าระหว่างโลหะ | |
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์