



| รุ่น  | MDAM-CMP100  | MDAM-CMP150  | |
| ขนาดของเวเฟอร์  | 4 นิ้วและต่ำกว่า  | 6 นิ้วและต่ำกว่า  | |
| เส้นผ่านศูนย์กลางของจานทำงาน  | 420 มิลลิเมตร  | 420 มิลลิเมตร  | |
| สถานี  |  ≤4 |  ≤2 | |
| ช่องใส่  |  ≤3 | ||
| การให้พลังงาน  | 220V、10A  | ||
| เวลา  | 0-10h  | ||
| อุณหภูมิบริเวณ  |  20℃~35℃ | ||
| ความเร็วของแผ่น  | 0-120RPM  | ||
| อัตราการติดตั้ง  | 0-120RPM  | ||
| ชิ้นส่วนของระบบตัวอย่างการติดตั้ง  | กีบหนีบ, แขนลูกกลิ้ง  | 
| ชุดกระบวนการขัดเงา  | แผ่นขัด, บล็อกซ่อมแผ่น, และกระบอกสูบ  | 
| ชุดกระบวนการขัดเงา  | ระบบจ่ายของเหลวสำหรับขัดและแผ่นขัด  | 
| ชิ้นส่วนการตรวจจับ  | แพลตฟอร์มมาตรฐานการทดสอบ, เครื่องทดสอบความแบน, เครื่องวัดแรงดัน  | 
| แพ็กเกจวัสดุสำหรับการขัดและการขัดเงาเวเฟอร์  | ผงขัด พลาสติก, สารละลายสำหรับขัดเงา, ผ้าขัดเงา, 蠟, ของเหลวสำหรับล้าง蠟, แผ่นพื้นกระจก  | 








ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์