




รุ่น |
RYW-ETB05B |
RYW-ETB20 |
RYW-ETB05S |
RYW-ETB05 |
|||
ความแม่นยำของการจัดเรียง |
±0.5μm |
±2μm |
±0.5μm |
±2μm |
|||
มุมมอง |
0.5×0.3-5.4×4mm² |
1.2×0.9-14.4×10.8mm² |
0.5×0.3-5.4×4mm² |
1.2×0.9-14.4×10.8mm² |
|||
ขนาด Substrate |
150มม./6 นิ้ว (300มม./12 นิ้ว) |
||||||
ขนาดชิป |
0.1~40มม. |
||||||
การปรับแก้แนวแกนอย่างละเอียด |
±10° |
||||||
ช่วงปรับแต่งละเอียด |
2.5×2.5×10 มม. Res(0.5μm) |
||||||
ช่วงความดัน |
0.2~30นิวตัน (ตัวเลือก 100 นิวตัน) |
||||||
อุณหภูมิการทําความร้อน |
350±1℃ (ตัวเลือก 450℃) |
||||||
อัตราการให้ความร้อนและการทำความเย็น |
ความร้อน: 1~100℃/วินาที; การทำความเย็น: >5℃/วินาที |
||||||
ช่วงการทำงาน |
100มม.×200มม. |
||||||
ขนาดของอุปกรณ์ |
L0.7×W0.6×H0.5ม. |
||||||
ประเภทการดําเนินงาน |
โรตารี่กึ่งอัตโนมัติ |
แบบหมุนด้วยมือ |
|||||
น้ำหนักของเครื่อง |
120กก |
100กก |
|||||



ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์