เครื่องลิธ็อกกราฟีสองด้านความแม่นยำสูง MDXN-31D4 , China เครื่องลิธ็อกกราฟีสองด้านความแม่นยำสูง MDXN-31D4 Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

อุปกรณ์นี้ใช้สำหรับการพัฒนาและการผลิตวงจรรวมขนาดเล็กและขนาดกลาง เซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์คลื่นเสียงผิว โดยอาศัยกลไกการปรับระดับขั้นสูงและการใช้แรงกดน้อย อุปกรณ์นี้ไม่เพียงแต่เหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateชนิดต่าง ๆ แต่ยังเหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateที่แตกง่าย เช่น โพแทสเซียมอาร์เซนิดและฟอสเฟตเหล็ก นอกจากนี้ยังเหมาะสำหรับการฉายแสงของsubstrateที่ไม่เป็นวงกลมและขนาดเล็ก

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

ข้อมูลจำเพาะ

ปริมาตรทางเทคนิคหลัก

1. ประเภทการฉายแสง: การฉายแบบสัมผัส การจัดเรียงแผ่น การฉายเดี่ยวสองด้าน
2. พื้นที่การสัมผัส: 110X110mm;
3. ความสม่ำเสมอของการสัมผัส: ≥ 97%;
4. ความเข้มข้นของการสัมผัส: 0-30mw/ cm2 ปรับได้;
5. มุมของลำแสง UV: ≤ 3 °
6. ความยาวคลื่นศูนย์กลางของแสงอัลตราไวโอเลต: 365nm;
7. อายุการใช้งานของแหล่งกำเนิดแสง UV: ≥ 20000 ชั่วโมง;
8. อุณหภูมิผิวการทำงาน: ≤ 30 ℃
9. ใช้ชัตเตอร์อิเล็กทรอนิกส์;
10. ความละเอียดของการสัมผัส: 1 μ M (ความลึกของการสัมผัสมีประมาณ 10 เท่าของความกว้างของเส้น)
11. โหมดการสัมผัส: การสัมผัสด้านสองด้านพร้อมกัน
12. ช่วงการจัดแนว: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. ความแม่นยำของการจัดแนวแผ่น: 2 μ m
14. ช่วงการหมุน: การปรับหมุนทิศทาง Q ≤ ± 5 °
15. ระบบกล้องจุลทรรศน์: ระบบ CCD ที่มีพื้นที่มองเห็นสองแบบ เลนส์วัตถุ 1.6X~10X ระบบประมวลผลภาพคอมพิวเตอร์ หน้าจอ LCD ขนาด 19" การขยายรวม 91-570x
16. ขนาดของแมสก์: สามารถดูดซับแมสก์ขนาด 5" ได้โดยใช้วาคคูม โดยไม่มีข้อกำหนดพิเศษสำหรับความหนาของแมสก์ (ตั้งแต่ 1 ถึง 3mm)
17. ขนาดของวัสดุรอง: เหมาะสำหรับวัสดุรองขนาด 4" โดยความหนาของวัสดุรองอยู่ในช่วง 0.1 ถึง 2mm
18. เมื่อสั่งซื้อ จะไม่มีข้อกำหนดพิเศษ และชั้นวางขนาด 5" X5 เป็นมาตรฐาน สามารถปรับแต่งชั้นวางที่มีขนาดน้อยกว่า 5" X5:

การแพ็คและจัดส่ง

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

ข้อมูลบริษัท

เรามีประสบการณ์ในการขายอุปกรณ์เป็นเวลา 16 ปี เราสามารถให้บริการโซลูชั่นแบบครบวงจรสำหรับสายการผลิตการบรรจุภัณฑ์หน้าและหลังของกึ่งตัวนำจากประเทศจีนแก่คุณได้