|
โครงการ
|
สเปก
|
หมายเหตุ
|
||
|
1 |
สรุปเครื่องมือ |
ชื่ออุปกรณ์: เครื่องเคลือบสารกาวแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
|
||
|
รุ่นอุปกรณ์: MD-2C2D6
|
||||
|
ข้อมูลแผ่นเวเฟอร์ที่รองรับ: รองรับเวเฟอร์มาตรฐานขนาด 4/6 นิ้ว
|
||||
|
กระบวนการทำงานของการเคลือบกาว: การตัดตะกร้าดอกไม้ → การจัดศูนย์กลาง → การเคลือบกาว (หยด → เคลือบ → ลบขอบ, ล้างด้านหลัง)
→ แผ่นร้อน → แผ่นเย็น → วางตะกร้า กระบวนการทำงานของการพัฒนา: การตัดตะกร้าดอกไม้ → การจัดศูนย์กลาง → การพัฒนา (สารละลายพัฒนา → น้ำกลั่นไร้อิเล็กตรอน, ล้างด้านหลัง → การอบแห้งด้วยไนโตรเจน) → แผ่นร้อน → แผ่นเย็น → วางตะกร้า |
||||
|
ขนาดรวม (ประมาณ): 2100mm (W) * 1800mm (D) * 2100mm (H)
|
||||
|
ขนาดตู้เคมี (ประมาณ): 1700(W) * 800(D) * 1600mm (H)
|
||||
|
น้ำหนักรวม (ประมาณ): 1000kg
|
||||
|
ความสูงของโต๊ะทำงาน: 1020 ± 50mm
|
||||
|
2 |
ยูนิตแคสเซ็ท
|
จำนวน: 2
|
||
|
ขนาดที่เข้ากันได้: 4/6 นิ้ว
|
||||
|
การตรวจจับแคสเซ็ท: การตรวจจับด้วยไมโครสวิตช์
|
||||
|
การตรวจจับการดึงออก: ใช่, เซนเซอร์สะท้อนแสง
|
||||
|
3 |
หุ่นยนต์ |
จำนวน: 1
|
||
|
ประเภท: หุ่นยนต์ดูด Vacum แบบแขนคู่
|
||||
|
ระดับอิสระ: 4 แกน (R1, R2, Z, T)
|
||||
|
วัสดุของนิ้ว: เซรามิก
|
||||
|
วิธีการยึดสารพื้นฐาน: วิธีดูดสุญญากาศ
|
||||
|
ฟังก์ชันแมปปิ้ง: มี
|
||||
|
ความแม่นยำในการวางตำแหน่ง: ± 0.1mm
|
||||
|
4 |
หน่วยจัดศูนย์กลาง
|
จำนวน: 1 ชุด
|
การจัดแนวแบบออปติคอล (ตัวเลือก)
|
|
|
วิธีการจัดแนว: การจัดแนวแบบกลไก
|
||||
|
ความแม่นยำในการจัดศูนย์กลาง: ± 0.2mm
|
||||
|
5 |
หน่วยกาวสม่ำเสมอ |
จำนวน: 2 เซ็ท (ต่อไปนี้เป็นการกำหนดค่าสำหรับแต่ละหน่วย)
|
||
|
ความเร็วรอบของสปินเดิล: -5000rpm~5000rpm
|
ลูกล้อรองรับ
|
|||
|
ความแม่นยำของการหมุนของแกน: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
การปรับความเร็วการหมุนของแกนขั้นต่ำ: 1rpm
|
||||
|
อัตราเร่งสูงสุดของการหมุนของแกน: 20000rpm/s
|
ลูกล้อรองรับ
|
|||
|
แขนหยด: 1 ชุด
|
||||
|
เส้นทางท่อโฟโตรีซิสต์: 2 เส้นทาง
|
||||
|
เส้นผ่านศูนย์กลางของหัวฉีดโฟโตรีซิสต์: 2.5mm
|
||||
|
การกันไฟฟ้าสถิตของโฟโตรีซิสต์: 23 ± 0.5 ℃
|
ตัวเลือก
|
|||
|
หัวฉีดน้ำหล่อเย็น: มี
|
||||
|
RRC: มี
|
||||
|
บัฟเฟอร์: ใช่, 200ml
|
||||
|
วิธีการหยดกาว: การหยดตรงกลางและการหยดพร้อมสแกนเป็นตัวเลือก
|
||||
|
แขนกำจัดขอบ: 1 ชุด
|
||||
|
เส้นผ่าศูนย์กลางหัวฉีดกำจัดขอบ: 0.2mm
|
||||
|
การตรวจสอบปริมาณของเหลวกำจัดขอบ: เมตรวัดแบบลูกลอย
|
||||
|
ช่วงปริมาณการไหลของของเหลวกำจัดขอบ: 5-50ml/นาที
|
||||
|
ท่อซักล้างย้อนกลับ: 2 ทาง (4/6 นิ้ว แต่ละอันมี 1 ช่อง)
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลของน้ำซักล้าง: เมตรวัดแบบลูกลอย
|
||||
|
ช่วงการไหลของของเหลวซักล้าง: 20-200ml/นาที
|
||||
|
วิธีการตรึงชิป: การดูดด้วยแรงดูด Vacuum Chuck พื้นที่เล็ก
|
||||
|
สัญญาณเตือนแรงดันสุญญากาศ: เซนเซอร์แรงดันสุญญากาศดิจิทัล
|
||||
|
วัสดุชัค: PPS
|
||||
|
วัสดุถ้วย: PP
|
||||
|
การตรวจสอบการระบายอากาศของถ้วย: เซนเซอร์แรงดันดิจิทัล
|
||||
|
6 |
หน่วยพัฒนาฟิล์ม |
ชัตเตอร์: มี
|
||
|
จำนวน: 2 เซ็ท (ต่อไปนี้เป็นการกำหนดค่าสำหรับแต่ละหน่วย)
|
||||
|
ความเร็วรอบของสปินเดิล: -5000rpm~5000rpm
|
ลูกล้อรองรับ
|
|||
|
ความแม่นยำของการหมุนของแกน: ± 1rpm (50rpm~5000rpm)
|
||||
|
การปรับความเร็วการหมุนของแกนขั้นต่ำ: 1rpm
|
||||
|
อัตราเร่งสูงสุดของการหมุนของแกน: 20000rpm/s
|
ลูกล้อรองรับ
|
|||
|
แขนพัฒนาฟิล์ม: 1 ชุด
|
||||
|
ท่อพัฒนาฟิล์ม: 2 ทาง (หัวฉีดรูปพัดลม/รูปทรงกลม)
|
||||
|
การกรองสารพัฒนา: 0.2um
|
||||
|
การควบคุมอุณหภูมิของสารพัฒนา: 23 ± 0.5 ℃
|
ตัวเลือก
|
|||
|
ช่วงการไหลของสารพัฒนา: 100~1000ml/นาที
|
||||
|
โหมดการเคลื่อนที่ของแขนพัฒนา: จุดคงที่หรือสแกน
|
||||
|
แขนฟิวซิ่ง: 1 ชุด
|
||||
|
ท่อทางน้ำกลั่น: 1 วงจร
|
||||
|
เส้นผ่าศูนย์กลางหัวฉายน้ำกลั่น: 4mm (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน)
|
||||
|
ช่วงการไหลของน้ำกลั่น: 100~1000ml/นาที
|
||||
|
ท่อทางไนโตรเจนสำหรับการอบแห้ง: 1 วงจร
|
||||
|
เส้นผ่าศูนย์กลางหัวฉีดไนโตรเจน: 4mm (เส้นผ่านศูนย์กลางภายใน)
|
||||
|
ช่วงการไหลของไนโตรเจน: 5-50L/นาที
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลของสารพัฒนา น้ำกลั่น และไนโตรเจน: เครื่องวัดการไหลแบบลูกลอย
|
||||
|
ท่อซักล้างย้อนกลับ: 2 ทาง (4/6 นิ้ว แต่ละอันมี 1 ช่อง)
|
||||
|
การตรวจสอบการไหลของน้ำซักล้าง: เมตรวัดแบบลูกลอย
|
||||
|
ช่วงการไหลของของเหลวซักล้าง: 20-200ml/นาที
|
||||
|
วิธีการตรึงชิป: การดูดด้วยแรงดูด Vacuum Chuck พื้นที่เล็ก
|
||||
|
สัญญาณเตือนแรงดันสุญญากาศ: เซนเซอร์แรงดันสุญญากาศดิจิทัล
|
||||
|
วัสดุชัค: PPS
|
||||
|
วัสดุชัค: PPS
|
||||
|
วัสดุถ้วย: PP
|
||||
|
การตรวจสอบการระบายอากาศของถ้วย: เซนเซอร์แรงดันดิจิทัล
|
||||
|
7 |
หน่วยยึดเหนี่ยว |
จำนวน: 2
|
ตัวเลือก
|
|
|
ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง~180 ℃
|
||||
|
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ (ตัดขอบออก 10mm เว้นแต่รูของลูกสูบ) |
||||
|
ปริมาณการปรับขั้นต่ำ: 0.1 ° C
|
||||
|
วิธีควบคุมอุณหภูมิ: การปรับ PID
|
||||
|
ช่วงความสูงของ PIN: 0-20mm
|
||||
|
วัสดุ PIN: ตัวเครื่อง SUS304, ฝาครอบ PIN ทำจาก PI
|
||||
|
ช่องว่างสำหรับอบ: 0.2mm
|
||||
|
สัญญาณเตือนอุณหภูมิเกิน: สัญญาณเตือนการเบี่ยงเบนบวกและลบ
|
||||
|
วิธีจ่าย: การฟองอากาศ, 10 ± 2ml/мин
|
||||
|
ความว่างในห้องปฏิบัติการ: -5-20KPa
|
||||
|
8 |
หน่วยแผ่นร้อน |
จำนวน: 10
|
||
|
ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง~250 ℃
|
||||
|
ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้อง~120 ℃± 0.75 ℃
120.1℃~ 180℃ ± 1.5℃ 180.1℃~250℃ ±2.0℃ (ตัดขอบออก 10mm เว้นแต่รูของลูกสูบ) |
||||
|
ปริมาณการปรับขั้นต่ำ: 0.1 ℃
|
||||
|
วิธีควบคุมอุณหภูมิ: การปรับ PID
|
||||
|
ช่วงความสูงของ PIN: 0-20mm
|
||||
|
วัสดุ PIN: ตัวเครื่อง SUS304, ฝาครอบ PIN ทำจาก PI
|
||||
|
ช่องว่างสำหรับอบ: 0.2mm
|
||||
|
สัญญาณเตือนอุณหภูมิเกิน: สัญญาณเตือนการเบี่ยงเบนบวกและลบ
|
||||
|
9 |
หน่วยแผ่นเย็น
|
จำนวน: 2
|
||
|
ช่วงอุณหภูมิ: 15-25 ℃
|
||||
|
วิธีการระบายความร้อน: การระบายความร้อนด้วยปั๊มหมุนเวียนอุณหภูมิคงที่
|
||||
|
10 |
จัดหาสารเคมี |
การเก็บรักษาโฟโตเรสต์: ปั๊มกาวแบบลม * 4 ชุด (ถังเสริมหรือปั๊มกาวไฟฟ้าเป็นตัวเลือก)
|
||
|
ปริมาณการให้กาว: สูงสุด 12 มล. ต่อครั้ง ความแม่นยำ ± 0.2 มล.
|
||||
|
การกำจัดขอบ/การล้างหลัง/RRC จ่าย: ถังแรงดัน 18L * 2 (เติมอัตโนมัติ)
|
||||
|
การตรวจสอบระดับของเหลวสำหรับการกำจัดขอบ/การล้างหลัง/RRC: เซนเซอร์แสงไฟฟ้า
|
||||
|
การตรวจสอบระดับของเหลวของโฟโตเรสต์: เซนเซอร์แสงไฟฟ้า
|
||||
|
การกำจัดของเสียจากกาวสม่ำเสมอ: ถังของเสีย 10L
|
||||
|
จ่ายสารพัฒนา: ถังแรงดัน 18L * 4 (เก็บในตู้สารเคมีนอกเครื่อง)
|
||||
|
จ่ายน้ำกร่อย: จ่ายโดยตรงจากโรงงาน
|
||||
|
การพัฒนาการตรวจสอบระดับของเหลว: เซนเซอร์โฟโตอิเล็กทริก
|
||||
|
การกำจัดของเสียจากผู้พัฒนา: การปล่อยของเสียจากโรงงาน
|
||||
|
การจ่ายสารยึดเกาะ: ถังกดแรงดันขนาด 10L * 1, ถังกดแรงดันขนาด 2L * 1
|
||||
|
การตรวจสอบระดับของสารยึดเกาะ: เซนเซอร์โฟโตอิเล็กทริก
|
||||
|
11 |
ระบบควบคุม |
วิธีการควบคุม: PLC
|
||
|
อินเทอร์เฟซปฏิบัติการระหว่างมนุษย์และเครื่องจักร: หน้าจอสัมผัสขนาด 17 นิ้ว
|
||||
|
แหล่งจ่ายไฟสำรอง (UPS): มี
|
||||
|
ตั้งสิทธิ์การเข้ารหัสสำหรับผู้ปฏิบัติงานอุปกรณ์, ช่างเทคนิค, ผู้ดูแลระบบ
|
||||
|
ประเภทหอสัญญาณ: สีแดง, สีเหลือง, สีเขียว 3 สี
|
||||
|
12 |
ตัวชี้วัดความน่าเชื่อถือของระบบ
|
เวลาทำงาน: ≥95%
|
||
|
MTBF: ≥ 500h
|
||||
|
MTTR: ≤ 4h
|
||||
|
MTBA： ≥24h
|
||||
|
อัตราการแตกสลาย: ≤ 1/10000
|
||||
|
13 |
หน้าที่อื่น ๆ
|
ไฟสีเหลือง: 4 ชุด (ตำแหน่ง: ด้านบนของหน่วยผสมกาวและพัฒนา)
|
||
|
THC: มี, 22.5 ℃± 0.5 ℃, 45% ± 2%
|
ตัวเลือก
|
|||
|
FFU: ระดับ 100, 5 ชุด (หน่วยกระบวนการและพื้นที่ ROBOT)
|
||||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
