MCXJ-MLS8 ระบบพิมพ์แบบไม่มีแมสก์ , China MCXJ-MLS8 ระบบพิมพ์แบบไม่มีแมสก์ Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายผลิตภัณฑ์

ตัวอย่าง:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

แผนภาพโครงสร้างอุปกรณ์

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

ข้อมูลจำเพาะ

แผนภาพโครงสร้างโฮสต์การฉายแสง

โครงสร้าง	แสดงให้เห็น
การฉายแสงบนโต๊ะ	พื้นที่ฉายแสง: โต๊ะ, พื้นที่วางวัสดุรองรับ
ระบบแสง	พื้นที่การหล่อเลเซอร์
ระบบควบคุมสภาพแวดล้อม	ควบคุมอุณหภูมิและความดันบวกภายในอุปกรณ์
ระบบแพลตฟอร์ม	ควบคุมการเคลื่อนที่ของโต๊ะรับแสงเพื่อดำเนินการตามเส้นทางการรับแสง
ระบบควบคุม	ระบบควบคุมของอุปกรณ์ทั้งหมด

หมายเหตุ: เนื่องจากอาจมีการอัพเกรดเครื่อง ลักษณะภายนอกจริงอาจเปลี่ยนแปลง โปรดอ้างอิงจากผลิตภัณฑ์จริง

เลขที่	สิ่งแวดล้อม	จําเป็น
1	สภาพแวดล้อมแหล่งกำเนิดแสง	แสงสีเหลือง
2	อุณหภูมิ	22℃±2℃
3	ความชื้น	50%±10%
4	ความสะอาด	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa，200LPM, อากาศแห้งและสะอาด
6	การให้พลังงาน	220~240V、50/60Hz、2.5KW；สายดินต้องเชื่อมต่อกับพื้นดิน，
7	น้ำหล่อเย็น	อุณหภูมิ：10℃~ 20℃ ความดัน：0.3MPa ~ 0.5MPa อัตราการไหล：20L/min ความแตกต่างของความดัน：0.3MPaขึ้นไป ขนาดปลายเชื่อมต่อ：Rc3/8
8	สถานที่จัดงาน	ระดับ：±3mm/3000mm สั่น：VC-B เปลือง：750kg/㎡
10	อินเตอร์เน็ต	พอร์ตเครือข่ายหนึ่งช่อง
11	ขนาดเครื่อง	130011002100mm
12	น้ำหนักของเครื่อง	1500 กิโลกรัม

เลขที่	โครงการ	สเปค	หมายเหตุ
1	ความละเอียด	0.6um/หรือตามข้อกำหนดอื่นๆ	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	ความหนาของsubstrate	0.2mm～4mm
4	ความแม่นยำของตารางวันที่	60nm
5	การวางทับกัน	±500nm	130mmx130mm
6	ความแม่นยำของการต่อกัน	±200nm	AZ703
7	ขนาดการสัมผัสสูงสุด	190X190mm
8	ปริมาณการผลิต	≥300mm2/мин	≤50mj/сm2;
9	แหล่งกำเนิดแสง	LD 375nm
10	พลังงานแสง	6W
11	ความสม่ำเสมอของพลังงาน	≥95%
12	อายุการใช้งานของแสง	10000hr

การแพ็คและจัดส่ง

ข้อมูลบริษัท

เรามีประสบการณ์ในการขายอุปกรณ์เป็นเวลา 16 ปี เราสามารถให้บริการโซลูชั่นแบบครบวงจรสำหรับสายการผลิตการบรรจุภัณฑ์หน้าและหลังของกึ่งตัวนำจากประเทศจีนแก่คุณได้