เครื่องทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟ / เครื่องบำบัดผิวพลาสมา , China เครื่องทำความสะอาดพลาสมาไมโครเวฟ / เครื่องบำบัดผิวพลาสมา Manufacturers, Suppliers, Factory

คำอธิบายสินค้า

เครื่องทำความสะอาดด้วยพลาสมาไมโครเวฟ

สำหรับการประมวลผลก่อนการเชื่อมต่อชิปเซมิคอนดักเตอร์ การประมวลผลก่อนการบรรจุภัณฑ์พลาสติก การกำจัดโฟโตรีซิสต์ การเชื่อมโลหะและการประมวลผลก่อน

นี่คือระบบการทำความสะอาดด้วยพลาสมาไมโครเวฟที่แรงดันต่ำสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ โดยการใช้ไมโครเวฟที่ความถี่ 2.45GHz ไปยังหน้าต่างบนผนังของโพรงสุญญากาศ จะสร้างพลาสมาจำนวนมากอย่างต่อเนื่อง และชิปจะถูกทำความสะอาดเมื่อเข้าสู่โพรง

ข้อดี

1. พลาสมาไม่มีประจุและจะไม่ทำให้เกิดความเสียหายต่อวงจร
2. รักษาอุณหภูมิให้ต่ำระหว่างกระบวนการบำบัด
3. ความเร็วในการตอบสนองสูงและเวลาปฏิกิริยาสั้น
4. ไม่มีขั้วไฟฟ้า ไม่มีแหล่งก่อมลพิษ อายุการใช้งานยาวนาน
5. สามารถรักษาพลาสมาภายใต้แรงดันสูงได้
6. จุดเชื่อมต่อไมโครเวฟและวงจรแม่เหล็กเข้ากันได้
7. ความต้องการแรงดันไฟฟ้าแบบ self-bias ต่ำ
8. แหล่งกำเนิดแรงดันไฟฟ้าสูงและเครื่องกำเนิดถูกแยกออกจากกันเพื่อความปลอดภัย
9. การกร่อนแห้ง ไม่มีแหล่งมลพิษ

การใช้งาน

การเตรียมพื้นผิวก่อนเชื่อมชิป
การเตรียมพื้นผิวก่อนเชื่อมโลหะ
การประมวลผลก่อนการปิดผนึกด้วยพลาสติก
การกระตุ้นผิวเวเฟอร์

เทคโนโลยีแหล่งจ่ายไฟคู่ ไมโครเวฟ + Bias RF:

ไมโครเวฟให้อัตราการลอกและสมรรถนะความสม่ำเสมอที่ยอดเยี่ยม (การลอกโฟโต้เรซิสต์) ขณะที่คลื่นวิทยุความถี่สูงให้พลังงานจลน์ในทิศทางสำหรับการเคลื่อนที่ของพลาสมา และเทคโนโลยีแหล่งจ่ายไฟคู่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและความสามารถในการลอกและการแกะสลักของเซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลจำเพาะ

โฮสต์พลาสมาแบบดูดอากาศ
ขนาดของเครื่อง	1230X1800X1100mm (กว้าง x สูง x ลึก)
น้ำหนัก	450กิโลกรัม
ความต้องการพลังงาน	AC380V, 50/60Hz, 5-สาย, 30A
ข้อมูลจำเพาะของเครื่องกำเนิดพลาสมา
แหล่งจ่ายพลังงานไมโครเวฟ	พลังงาน	0~1250W
		ความถี่	2.45GHz
ระบบสูบ
วัสดุ	อลูมิเนียมอัลลอย (สามารถปรับแต่งเป็นห้องสเตนเลสได้)
ความหนา	25มม
มิติภายในของโพรง	480mmX470mmX480mm
พื้นที่ทำงาน	6 ช่องแม็กกาซีน
ECR	นิตยสารแบบมีช่องให้ผลการประมวลผล ECR ที่ได้รับการปรับปรุง
ความสามารถในการใช้พลาสมา
ความสามารถในการประมวลผล	ระยะห่าง 35 ไมครอน ปุ่มขนาด 40μm ขนาดดายสูงสุด 15X15 มม.

การแพ็คและจัดส่ง

มุมมองโรงงาน

ข้อมูลบริษัท

Minder-Hightech เป็นตัวแทนขายและให้บริการในอุปกรณ์สำหรับอุตสาหกรรมผลิตภัณฑ์กึ่งตัวนำและอิเล็กทรอนิกส์ ตั้งแต่ปี 2014 บริษัทมุ่งมั่นที่จะมอบโซลูชันแบบครบวงจรที่ดีที่สุด มีความน่าเชื่อถือ และเป็นจุดเดียวสำหรับอุปกรณ์เครื่องจักรให้กับลูกค้า

คำถามที่พบบ่อย

1. เกี่ยวกับราคา:
ราคาทั้งหมดของเราเป็นราคาที่แข่งขันได้และสามารถต่อรองได้ ราคาจะแตกต่างกันไปตามการกำหนดค่าและความซับซ้อนของการปรับแต่งของอุปกรณ์ของคุณ

2. เกี่ยวกับตัวอย่าง:
เราสามารถให้บริการผลิตตัวอย่างสำหรับคุณได้ แต่คุณอาจต้องชำระค่าธรรมเนียมบางส่วน

3. เกี่ยวกับการชำระเงิน：
หลังจากแผนได้รับการยืนยันแล้ว คุณจำเป็นต้องจ่ายเงินมัดจำให้เราเป็นลำดับแรก จากนั้นโรงงานจะเริ่มเตรียมสินค้า เมื่ออุปกรณ์พร้อมและคุณชำระยอดคงเหลือ เราจะทำการจัดส่ง

4. เกี่ยวกับการจัดส่ง:
หลังจากการผลิตอุปกรณ์เสร็จสมบูรณ์ เราจะส่งวิดีโอการยอมรับให้คุณ และคุณยังสามารถมาตรวจสอบอุปกรณ์ที่สถานที่ได้

5. การติดตั้งและการปรับแต่ง:
หลังจากอุปกรณ์มาถึงโรงงานของคุณ เราสามารถส่งวิศวกรไปติดตั้งและปรับแต่งอุปกรณ์ เราจะเสนอราคาแยกต่างหากสำหรับค่าใช้จ่ายบริการนี้

6. เกี่ยวกับการรับประกัน:
อุปกรณ์ของเราครอบคลุมระยะเวลาการรับประกัน 12 เดือน หลังจากระยะเวลาการรับประกัน หากชิ้นส่วนใดเสียหายและต้องเปลี่ยน เราจะเรียกเก็บเฉพาะราคากost