
ความยาวคลื่นกลางของแหล่งกำเนิดแสง UV |
405nm |
ความสม่ำเสมอของการเปิดรับแสง |
มากกว่า 90% |
ความกว้างเส้นลักษณะขั้นต่ำ |
0.5um |
พื้นที่การเปิดรับแสงของสนามเขียนแบบผ่านครั้งเดียว |
0.16*0.16mm (@0.5um) |
ความเร็วในการเขียน |
80 มม.²/นาที (ความกว้างเส้นลักษณะ 1 ไมครอน) |
รูปแบบภาพที่รองรับ |
DXF, GDS, bmp, png, ฯลฯ |
การตั้งค่า |
เวอร์ชันพื้นฐาน |
รุ่นมืออาชีพ |
|
แหล่งกำเนิดแสง |
หลอดไฟ LED กำลังสูง: 405 นาโนเมตร |
||
ชิป DMD |
DLP6500 |
||
พื้นที่การเปิดรับแสงแบบช่องเดียว |
0.16*0.16 มม. (@0.5 ไมครอน), 0.4*0.4 มม. (@0.7 ไมครอน), 0.8*0.8 มม. (@1 ไมครอน), 1.6*1.6 มม. (@2 ไมครอน) |
||
กล้อง |
กล้องจุลทรรศน์ขนาดใหญ่ (รองรับการวัดขนาด) |
||
ความกว้างเส้นระยะห่างเท่ากันขั้นต่ำ |
0.8 µm |
0.5μm |
|
ความแม่นยำของการต่อกัน |
±0.3 µm |
±0.3μm |
|
ความแม่นยำของการซ้อนทับ |
±0.5 µm |
±0.5μm |
|
ความเร็วในการเขียน |
20 mm²/min (ความกว้างเส้นลวดลายขนาด 1 µm) |
80 mm²/min (ความกว้างเส้นลวดลายขนาด 1 μm) |
|
เวทีเคลื่อนที่ |
มอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง (ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งซ้ำได้ ±0.25µm), กลไกปรับระดับ, เวทีหมุนแบบแมนนวล |
มอเตอร์เชิงเส้นความแม่นยำสูง (ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งซ้ำได้ ±0.25µm), กลไกปรับระดับ, เวทีหมุนไฟฟ้า |
|
ตัวเปลี่ยนเลนส์เป้าหมาย |
การเปลี่ยนเลนส์เป้าหมายแบบแมนนวล |
การเปลี่ยนเลนส์เป้าหมายแบบมอเตอร์ขับเคลื่อน |
|
โมดูลโฟกัส |
โฟกัสอัตโนมัติด้วยภาพ CCD |
โฟกัสแบบใช้เลเซอร์ |
|
ขนาดเวเฟอร์ที่รองรับ |
4 นิ้ว |
4 นิ้ว/8 นิ้ว |
|
ความหนาของตัวอย่าง |
0-10 มิลลิเมตร |
0-10 มม. |
|















ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์