การสร้างไมโครอิเล็กทรอนิกส์เกี่ยวข้องกับหลายขั้นตอนที่ควรดำเนินการด้วยความระมัดระวัง การประสานวาเฟอร์เป็นหนึ่งในขั้นตอนที่สำคัญ ในความเป็นจริง การประสานวาเฟอร์คือการนำสองวัสดุบางๆ หรือตามคำศัพท์ในอุตสาหกรรมเรียกว่าวาเฟอร์ มาประกอบเข้าด้วยกัน สิ่งสำคัญคือ จุดใดก็ตามที่ทั้งสองจุดสัมผัสกัน จะต้องมีคุณสมบัติการยึดเหนี่ยวที่แข็งแรงระหว่างกันเพื่อให้กระบวนการนี้ทำงานอย่างมีประสิทธิภาพ นี่คือที่มาของการกระตุ้นผิวที่ช่วยในการประสาน
การกระตุ้นพื้นผิวของเวเฟอร์เป็นวิธีเฉพาะที่ใช้เพื่อช่วยเพิ่มการยึดเกาะหรือความเหนียวของเวเฟอร์ การบำบัดด้วยพลาสมา การบำบัดด้วย UV/โอโซน หรือการเปลี่ยนแปลงทางเคมีเป็นวิธีการบางอย่างที่สามารถใช้เพื่อกระตุ้นพื้นผิวได้ เทคนิคเหล่านี้แตกต่างกันและใช้เพื่อทำให้พื้นผิวของเวเฟอร์เหมาะสมสำหรับการเชื่อมต่อ
นอกจากนี้ยังช่วยเพิ่มคุณภาพของอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ พวกมันช่วยให้วอยเฟอร์ติดกันได้ดีจริง ๆ เพื่อลดความเป็นไปได้ของปัญหา เช่น การลอกออกของวัสดุ อุปกรณ์จะทำงานได้ดีขึ้นและคงทนยาวนานขึ้น ซึ่งแสดงถึงความแข็งแรงที่เพิ่มขึ้นในอุปกรณ์ใหม่ ๆ ที่ใช้งาน
นอกเหนือจากการเพิ่มประสิทธิภาพและความแข็งแรงของอุปกรณ์แล้ว สารกระตุ้นผิวยังช่วยทำให้พื้นผิวของวอยเฟอร์สะอาด เมื่อมีกระบวนการกระตุ้นบนพื้นผิว สิ่งสกปรกหรือสิ่งปนเปื้อนที่ไม่พึงประสงค์สามารถถูกกำจัดออกไป ซึ่งจะนำไปสู่พื้นผิวที่เรียบกว่าเดิม และสามารถพิมพ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ลงไปได้อย่างดี
ในที่สุด การกระตุ้นผิวสามารถทำให้พื้นผิวของเวเฟอร์เรียบเนียน หากเราใช้กาวเพื่อเชื่อมสองพื้นผิวด้วยกัน และหากพื้นผิวนั้นขรุขระหรือไม่เรียบเกินไป ก็อาจทำให้การยึดเกาะเป็นไปได้ยาก การขัดหรือกระบวนการกระตุ้นสามารถดำเนินการเพื่อลดความขรุขระบนพื้นผิวของเวเฟอร์ ซึ่งช่วยปรับปรุงการยึดเกาะและความแข็งแรงของการเชื่อมต่อ
มีแนวคิดหลายอย่างที่ต้องพิจารณาเมื่อพูดถึงวิทยาศาสตร์ของเทคนิคการกระตุ้นผิวเวเฟอร์ และหนึ่งในแนวคิดเหล่านี้คือ พลังงานผิว สำหรับการอ้างอิง พลังงานผิว: ปริมาณพลังงานที่ใช้ในการสร้างพื้นผิวใหม่ เมื่อสองพื้นผิวมาบรรจบกัน พวกมันจะยึดเหนี่ยวกันตามพลังงานผิว
เทคนิคการกระตุ้นผิวเหล่านี้ให้พลังงานบางส่วนแก่วาเฟอร์ โดยการเพิ่มพลังงานผิวของมัน ซึ่งทำให้วาเฟอร์สามารถยึดติดกับพื้นผิวอื่นได้อย่างมั่นคงมากขึ้น วิธีการ เช่น การบำบัดด้วยพลาสมา การบำบัดด้วย UV/โอโซน และการเปลี่ยนแปลงทางเคมี ทั้งหมดนี้สร้างไซต์ที่ใช้งานได้ในระดับที่แตกต่างกัน เพื่อเพิ่มพลังงานผิวของวาเฟอร์ ซึ่งเป็นปัจจัยสำคัญสำหรับการประสานที่ประสบความสำเร็จ
ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์