
| รุ่น  | MDTS-WT2200  | 
| จำนวนแกนที่บางลง  |  2 | 
| จำนวนโต๊ะทำงาน  | 3, วิธีดัชนี  | 
| แกนของล้อบด  | จำนวนหัวหมุนอากาศ: 2  มอเตอร์หัวหมุน: มอเตอร์ความถี่แปรผัน 7.5kW ความเร็ว: 0~6000rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน ขนาดจานขัด: Φ203mm ประเภทจานขัด: จานขัดเพชร | 
| ระบบให้อาหารจานขัด  | จำนวน: 2 เซ็ต  วิธีการควบคุมระบบฟีด: เรลไกด์ LM และสกรูลูกปืน การผสม มอเตอร์ขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็วฟีดต่ำสุด: 0.1um/วินาที ความเร็วฟีดสูงสุด: 50mm/วินาที | 
| โต๊ะทำงาน    | จำนวน: 3, โหมดดัชนี  มอเตอร์แกนหลัก: มอเตอร์เซอร์โว ความเร็ว: 0~300rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน วิธีดูดซับ: การดูดซับด้วยแรงดูดอากาศ | 
| โต๊ะหมุนของแผ่นงาน  | โหมดขับเคลื่อน: มอเตอร์เซอร์โว  ช่วงการหมุน: 0~240° รูปแบบการวางตำแหน่ง: การวางตำแหน่งด้วยความช่วยเหลือของเซนเซอร์ | 
| ความหนาอัตโนมัติ  ระบบการวัด | วิธีการวัด: การวัดออนไลน์แบบสัมผัส IPG ในเวลาจริง  จำนวนหัววัด: 2 เซนเซอร์วัด: เซนเซอร์ระดับ 0.1um | 
| ระบบโหลดอัตโนมัติ/  ระบบ缷อัตโนมัติ | ประเภทกล่อง: กล่องขนาด 6-8 นิ้ว, 25 ชั้น  วิธีการโหลด/缷อัตโนมัติ: ใช้เครื่องจัดการเวเฟอร์เพื่อให้มั่นใจว่าเวเฟอร์บางจะถูกขนส่งโดยไม่เสียหาย ความหนาของแผ่นเวเฟอร์: 150um-1000um | 
| ฟังก์ชันทำความสะอาดโต๊ะทำงาน  | วิธีการชำระล้าง: การขัดด้วยน้ำมันและ DI water+air สองสารไหลผ่าน  | 
| การทำความสะอาดอัตโนมัติ/  ระบบอบแห้ง | การทำความสะอาด: การทำความสะอาดด้วยหัวฉีด DIW  วิธีการอบแห้ง: การเป่า + อบแห้ง ความเร็ว: สูงสุด 1000rpm ปรับได้แบบไม่มีขั้นตอน | 
| ระบบการกำจัดไฟฟ้าสถิต  | แท่งไอออนหรือพัดลม Orion  | 
| ระบบเย็นของแกนหมุน  | อุณหภูมิ: 18-22°C  อัตราการไหล: 4~8L/นาที | 
| ระบบควบคุม    | ระบบควบคุม: ระบบควบคุม PC, หน้าจอสัมผัส ไฟเตือนสี 3 สี  อินเทอร์เฟซมนุษย์-เครื่องจักรภาษาจีน/ภาษาอังกฤษ | 
| ขนาดเวเฟอร์สูงสุด  | รองรับได้สูงสุด 8 นิ้ว  | 
| ระยะความเร็ว  | 0~6000 รอบต่อนาที  | 
| การเดินทางในแกน Z  | 160มม  | 
| ความเร็วการป้อนแกน Z  | 0.1~100ไมครอน/วินาที  | 
| ความเร็วในการดึงกลับอย่างรวดเร็วของแกน Z  | 50มม./วินาที  | 
| ความละเอียดแกน Z  | 0.1ไมโครเมตร  | 
| ช่วงการวัดความหนาออนไลน์  | 0~1800ไมครอน  | 
| ความละเอียดการวัดความหนาแบบออนไลน์  | 0.1ไมโครเมตร  | 


ลิขสิทธิ์ © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. สงวนลิขสิทธิ์