структура |
илуструје |
Излажење кутије |
Област изложености: радник, површина за постављање субстрата |
Оптички систем |
Површина ласерске емисије |
Систем контроле животне средине |
Контролисање унутрашње температуре и позитивног притиска уређаја |
Система платформе |
Контролише кретање табеле експозиције како би завршио рад трајења експозиције |
Контролни систем |
Система за контролу целе опреме |
Не, не, не. |
Животна средина |
Захтевају |
1 |
Окружење светлосног извора |
Желто светло |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Воднос |
50%±10% |
4 |
Чистоћа |
1000 |
5 |
ЦДА |
0,6±0,1Мпа, 200ЛПМ, сув, чист ваздух |
6 |
Податак енергије |
220~240В、50/60ХЗ、2.5КВ;Земљан жица мора бити заземљен, |
7 |
Вода за хлађење |
Температура: 10°C ~ 20°C Притисак: 0,3 МПа ~ 0,5 МПа Проток: 20 л/мин Разлика притиска: 0.3МПа или више Преузмите калибар:Рц3/8 |
8 |
Место одржавања |
ниво:±3mm/3000mm уздизање:ВЦ-Б Лагер: 750kg/m2 |
10 |
Интернет |
Један мрежни порт |
11 |
Величина машине |
1300*1100*2100 мм |
12 |
Тежина уређаја |
1500 кг |
Не, не, не. |
Пројекат |
Спецификације. |
Примећај |
1 |
Резолуција |
0,6м/или други захтев |
АЗ703、АЗ1350 |
2 |
ЦДУ |
± 10% @ 1м |
|
3 |
Дебљина субстрата |
0,2mm4mm |
|
4 |
Точност мреже за датум |
60nm |
|
5 |
Прекривање |
± 500nm |
130ммх130мм |
6 |
Прецизност шијања |
± 200 nm |
АЗ703 |
7 |
Максимална величина изложености |
190Х190мм |
|
8 |
Продаја |
≥ 300 мм2/мин |
≤ 50мдж/см2; |
9 |
извор светлости |
ЛД 375nm |
|
10 |
светлост |
6В |
|
11 |
Енергетска јединственост |
≥95% |
|
12 |
светла живот |
10000 сати |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Гуангзхоу Миндер-Хигхетх Цо., Лтд. Сва права су резервисана
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
