В основном подходит для различных полупроводниковых материалов, таких как кремний, германий, карбид кремния, оксид цинка и др. Скрытая резка (stealth dicing) — это метод резки, при котором лазерный луч фокусируется внутри заготовки для формирования модифицированного слоя, а разделение заготовки на чипы осуществляется за счёт растяжения клеящей плёнки и другими способами. Подходит для пластин диаметром 4 дюйма, 6 дюймов и 8 дюймов.













Размер обработки |
12 дюймов, 8 дюймов, 6 дюймов, 4 дюйма |
Способ обработки |
Резка/резка с обратной стороны |
Обработка материала |
Сапфир, Si, GaN и другие хрупкие материалы |
Толщина пластины |
100-1000мкм |
Максимальная скорость обработки |
1000/с |
Точность позиционирования |
1мкм |
Точность повторного позиционирования |
1мкм |
Обваловка края |
< 5мкм |
Вес |
2800 кг |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены