


Размер пластины |
4”~ 8” пластина |
Толщина пластины |
100~750 микрон |
Тип пластины |
Si, SiC, GaN или другие материалы |
Тип пленки |
Синяя пленка, УФ-пленка Ширина: 230 ~ 300 мм Длина: 100 м Толщина: 0.05 ~ 0.2 мм |
Кольцо для перевозки пластин |
6”, 8” DISCO |
Метод загрузки и выгрузки |
Ручная установка и снятие пластины/кольца |
Точность позиционирования пленки |
±0,5 мм Стандартные пластинчатые держатели для пластин 6” и 8” |
Вакуумный насос |
Minder-Hightech |
Контроль антистатики |
Вентилятор деионизации |
Управляющий блок |
На основе управления PLC, с сенсорным экраном 10" |
Защита безопасности |
Комплектуется защитной световой завесой и кнопкой аварийной остановки |
Напряжение питания |
Однофазный переменный ток 220В, 16А |
Сжатый воздух |
0.45~0.6МПа, расход 70Л/мин |
Корпус машины |
Металлический корпус, окрашенный белым пластиком |
Громкость |
850мм (ширина)*1750мм (глубина)*1970мм (высота) |
Вес без упаковки |
480кг |


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены