Выделять
Введение: Установка для нанесения покрытий методом магнетронного распыления — это экономичное оборудование для магнетронного распыления, разработанное нашей компанией самостоятельно; оно характеризуется стандартизацией, модульностью и возможностью кастомизации. Диаметры магнетронных мишеней составляют 1 дюйм, 2 дюйма и 3 дюйма; заказчик может выбрать подходящий размер в зависимости от габаритов обрабатываемой подложки. В качестве источника питания используется высокомощный постоянного тока (ПТ) блок питания мощностью 500 Вт, пригодный для нанесения покрытий методом распыления металлов с высокой энергией. В зависимости от требований эксперимента также могут быть выбраны другие варианты блоков питания постоянного или высокочастотного (ВЧ) тока для реализации процесса нанесения покрытий на различные материалы.
Область применения: может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонких ферроэлектрических плёнок, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.