Введение:
Установка для напыления методом магнетронного распыления с одним мишенью — это экономичное оборудование для магнетронного распыления, разработанное нашей компанией самостоятельно. Благодаря компактной конструкции достигнут оптимальный баланс между габаритами и производительностью; установка отличается эстетичным внешним видом и полным функционалом. Управление всей установкой осуществляется через сенсорный экран, встроена программа одношагового нанесения покрытия, что обеспечивает простоту и удобство эксплуатации; данное оборудование идеально подходит для лабораторного получения тонких плёнок. Одна мишень представляет собой сильномагнитную мишень, а источник питания — постоянного тока мощностью 1500 Вт, что позволяет использовать установку для получения металлических плёнок. К данному изделию может быть подключён промышленный компьютер-«всё-в-одном» для управления системой. Программное обеспечение компьютера обеспечивает выполнение большинства функций, включая управление группой вакуумных насосов и управление источником питания для распыления, что дополнительно повышает эффективность ваших экспериментов.
Область применения:
Может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонкоплёночных ферроэлектриков, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.