Научные исследования Полупроводники Оптический спектр Спектроскопический Эллипсометр , China Научные исследования Полупроводники Оптический спектр Спектроскопический Эллипсометр Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

Спектроскопический эллипсометр

Спектральный эллипсометр может выполнять быстрые и многоточечные автоматические тесты, а также проверять однородность образца одним щелчком мыши. В продукте поляризатор, анализатор и компенсатор оснащены устройствами абсолютного кодирования с функцией компенсации заполнения зазора высокой точности позиционирования, что повышает точность и стабильность системы. Используется двойная волоконная архитектура для повышения эффективности сбора света, достаточные спектры могут быть собраны с травленых кислотных полированных поверхностей или обычных пирамидальных фронтов для тестирования и анализа. Также имеются базовые функции, такие как автофокусировка, выбор интенсивности света и фазовая компенсация.
Разработан для высокоэффективного и высокоточного анализа оптических свойств материалов. Может автоматически, быстро и
точно измерять показатель преломления, коэффициент поглощения и толщину пленки материалов. Подходит для потребностей в характеристике тонких пленок и материалов в научных исследованиях, полупроводниках, фотоэлектричестве, оптических покрытиях, дисплейных панелях и других областях.

Объект измерения:

Оптическое покрытие: Si02, Si3N4, SnO2, Nb205, Ti02, Ta205, A2O3, MgF2, Pi.
Дисплей: OLED(AIG3, PCBM, NPB, NPD...), электроды(ITO, PEDOT, MgO, Ag, Al, Mg...) ...
Фотоэлектричество: Si, Poly-Si, SiNx, CdS, CIGS, CdTe, PFN-Br, ABX3, PEDOT:PSS, PTB7-Th:PC71BM.
Полупроводник: Фотосопротив, ZnO, SiON, SiC, SiGe, GaN, AIN, InP, GaAs, AlxGa(1-x)N
Другое: OCD, 2D-материалы, соединение Ван-дер-Ваальса и устройства...

Функция продукта:

Измерение показателя преломления: Точно измеряет показатель преломления материалов на разных длинах волн, предоставляя ключевые данные для оптического проектирования и исследований материалов.
Измерение коэффициента поглощения: Анализирует характеристики поглощения света материалами для оптимизации производительности оптоэлектронных устройств.
Измерение толщины пленки: Поддерживает детектирование толщины пленок на уровне нанометров до микронов с высоким разрешением и хорошей повторяемостью.
Быстрое автоматическое тестирование: С функцией многоточечного автоматического сканирования скорость измерения достигает 1 секунда/точка, что значительно повышает эффективность пакетного тестирования.

Принцип измерения:

Принцип измерения эллипсометрии основан на изменении состояния поляризации отраженного света до и после поверхности среды для получения информации об оптических свойствах и структуре.

Электрическое поле падающего пучка разлагается на два перпендикулярных направления, где свет p параллелен вибрации света
волна, при которой свет перпендикулярен колебаниям световой волны. Амплитуды и фазы p- и s-света изменяются при отражении луча от поверхности среды.

Взаимосвязь между физическими характеристиками среды и изменением состояния поляризации.

Условия работы прибора:

Питание: 220В переменного тока ±10%
Комнатная температура: температура окружающей среды (10-30)℃
Относительная влажность: (20-80)% RH

Спектрометр:

Детектор: 2048 пикселей быстродействующий обратно-освещаемый CCD-детектор
Детальные параметры:
1. диапазон спектра лучше 350нм-1000нм
2. рассеянный свет <0.02%@400нм
3. соотношение сигнал/шум 4800
4. динамический диапазон 50000:1
5. голограммный световой путь
6. цифровое разрешение 16-бит
7. скорость чтения >400kHz
8. скорость передачи данных 600MB/с
9. минимальное время интеграции/шаг настройки 6 мкс/1мкс
10. задержка внешнего триггера 95нс+/-20нс
11. компьютерный интерфейс USB4.1C/2.0
12. операционная система Win 7/в 8/Win 10
средняя ККД в УФ-диапазоне, обратно-освещенный КМОП, средняя ККД ≥75% Система охлаждения микроскопическая ТЭ охлаждение, температура после охлаждения 30°С
ниже температуры окружающей среды.
Метод интеграции: управляемый программным обеспечением автоматическое установление времени интеграции, может достичь лучшего

Система источника света:

Источник света галогеновая лампа с кварцевой колбой, диапазон длин волн 350нм-2000нм, без уменьшения срок службы более 50000 часов.
Автономный источник питания для галогенной лампы напряжение 4.9вд

Этап с функцией автоматической фокусировки:

Переместите образец в лучшую позицию измерения с помощью функции автоматической фокусировкиХод:100мм
Точность: 0.0005мм Ограничение местоположения с положительным и отрицательным ограничением и датчиком нулевой позиции; начальная позиция, конечная позиция, шаг автоматической фокусировки могут быть установлены в программном обеспечении с использованием метода Гауссова регрессирования; установите указанное время интеграции и соберите интенсивность метода Фокусировки

Структура продукта

Характеристики

Оптическая система:

Угол падения	65°
Отклонение луча	< 0.3°
Параметры измерения	Psi&Del, TanPsi&CosDel, Alpha&Beta
Поляризаторы	Глан-Томсон
Материал	a-BBO
Компенсатор	квартальная фазовая задержка, гипер ахроматическая
Выбор интенсивности	Элемент выбора линейной оптической плотности. Обеспечивает хорошее соотношение сигнал/шум в процессе измерения, улучшает точность данных, избегает интенсивности света, которая может быть насыщенной или слишком слабой, чтобы не снижать соотношение сигнал/шум и точность
Оптический дизайн	двойной оптический волоконный канал передает свет от лампы к спектрометру через поляризационные элементы; стабильный световой путь, удобный для замены ламп
Волокно	анти-УФ пассивация; NA=0.22; чистый апертура 600мкм
Микроскопическое световое пятно	диаметр ≤200мкм, для различения полезного света, отраженного от передней поверхности, и ненужного света, отраженного от нижняя поверхность, легко разборная
Разрезной	1 50мкм, для различения полезного света, отраженного от передней поверхности, и бесполезного света, отраженного снизу поверхность

Таблица выбора базовых параметров:

Спектральный диапазон	350-1000нм	C			Видимый
		210-1000нм	UC			УФ-Видимый
		210-1700нм	Не			УФ-Вид-ИК
Оптический компенсатор	Rc				Одинарный компенсатор
Оптический компенсатор		RC2		C2		Двойной компенсатор
Спектральный диапазон	X-Y			М	Большой ход до 230 мм
Спектральный диапазон		X-R			R	Большой диаметр до 300 мм

Упаковка и доставка

Профиль компании

Minder-Hightech является представителем по продажам和服务 в области оборудования для полупроводниковой и электронной продукции. С 2014 года компания стремится предоставить клиентам Превосходные, Надежные и Комплексные Решения для оборудования.

Часто задаваемые вопросы

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Главная страница

О Нас

Оборудование MH

Решение

Зарубежные Пользователи

Видео

Свяжитесь с нами

Научные исследования Полупроводники Оптический спектр Спектроскопический Эллипсометр

Спектроскопический эллипсометр

Объект измерения:

Функция продукта:

Принцип измерения:

Условия работы прибора:

Спектрометр:

Система источника света:

Этап с функцией автоматической фокусировки:

Другие продукты

Серия MD-FS Машина для намотки конденсаторов

Серия MD-FDS Автоматическая машина для намотки конденсаторов

Серия MD-EFS Машина для намотки конденсаторов

Серия MD-EDFS Пленочный Конденсатор Смоточная Машина

Запрос

Articles

Products

Get In Touch