Точная шлифовальная и полировальная машина для полупроводниковых материалов , China Точная шлифовальная и полировальная машина для полупроводниковых материалов Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание товара

Обзор оборудования:

Шлифовально-полировальный станок MDAM-CMP100/150 — это высокоточное оборудование для шлифования и полирования, применяемое, в частности, при обработке полупроводниковых и оптоэлектронных материалов. Основная область применения — шлифование и утонение кристаллов основных полупроводниковых материалов, таких как кремний, диоксид кремния и индий-антимонидные матричные фотоприёмники, а также химико-механическое полирование нижней поверхности, рабочей поверхности и торцов. Вся установка и все её компоненты полностью проходят антикоррозионную обработку; параметры технологического процесса задаются через интерактивный сенсорный интерфейс.

Научный и обоснованный дизайн, передовые эксплуатационные характеристики, высокая степень автоматизации, удобство эксплуатации, простота технического обслуживания и высокая надёжность; обеспечение надёжного соединения образца с подложкой, шлифовка и утонение, химико-механическая полировка, а также логичная интеграция предварительных и последующих процессов контроля — всё это гарантирует согласованность размеров обработки по каждой функции оборудования. Настройка различного аппаратного обеспечения и расходных материалов позволяет реализовать несколько конфигураций станка и технологических решений, удовлетворяющих разнообразные технические требования заказчиков, включая различия в материалах и габаритах обрабатываемых изделий.

С быстрым развитием полупроводниковой технологии, требования к производительности и функциональности интегральных схем продолжают расти. Технологии TSV (Through Silicon Via) и TGV (Through Glass Via), как передовые методы упаковки и соединения, могут эффективно повысить степень интеграции и производительность чипов. Это устройство имеет уникальный процессуальный план для реализации технологии TSV/TGV.

Преимущества оборудования:

* Независимая и подвижная система управления сенсорного типа;
* Реализация шлифовки и полировки торцевой поверхности чипа, а также подготовка специальных углов;
* Может хранить 100 технологических меню;
* Функция обнаружения конечной точки EPD (Endpoint Detection);
* Опциональное увеличение до трехканальной системы подачи;
* Подходит для образцов размером 6 дюймов и меньше.

Функции оборудования:

Точильно-полировальный станок MDAM-CMP100/150, основной агрегат и все запасные части изготовлены из высокоустойчивых к коррозии материалов. Вся машина устойчива к коррозии, стабильна, износостойка и защищена от ржавчины, подходит для химико-механического шлифования и полирования различных полупроводниковых материалов. Рабочая зона отделена от области дисплея и управления и цифровым образом контролируется с помощью системы управления с сенсорным экраном. Управление осуществляется по программе ЧПУ, имеет функции сохранения и восстановления.

Система устройства имеет функцию таймера, которая может работать непрерывно в течение 10 часов и контролировать скорость полировального диска. Панель управления размещена вне рабочей области, чтобы предотвратить попадание абразивного раствора на панель управления. Все параметры основного блока можно регулировать на сенсорном экране. Процессные параметры основного блока имеют функции хранения и воспроизведения для обеспечения последовательности и повторяемости процесса. Образец пластинки фиксируется на нижней поверхности приспособления путем создания вакуума, оснащен безмасляным вакуумным насосом и имеет независимую функцию защиты от обратного всасывания.

Пример конфигурации фиксатора с горизонтальной системой вращения имеет функцию качания, с диапазоном качания от 0 до 100% настраиваемого значения. Амплитуда и частота качания могут быть точно установлены через панель управления. Фиксатор оснащен независимой системой привода для вращения, со скоростью вращения в диапазоне от 0 до 120 об/мин. Такая функциональная конструкция обеспечивает полное качающееся полирование образца во время процесса шлифовки и полирования, значительно повышая производительность и эффективность оборудования.

Фиксатор оснащен цифровым измерительным столом толщины с точностью измерения 1 мкм. Давление фиксатора на образец пластины непрерывно регулируется, с диапазоном давления от 0 до 3,5 кг и точностью 2 г/см², а также оборудован устройством измерения давления.

Работа шлифовального и полировального диска управляется основным приводом, а скорость вращения диска регулируется в диапазоне от 0 до 120 оборотов в минуту. Такой диапазон регулировки скорости эффективно обеспечивает оптимальные режимы шлифования и полировки образцов из материалов различной твёрдости и размеров, что позволяет достичь более высоких показателей технологического процесса.

Замена шлифовальных и полировальных дисков проста и быстра: встроенные диски позволяют оборудованию быстро переключаться с процесса шлифования на процесс полирования, что значительно сокращает время обработки. Кроме того, шлифовальный диск оснащён блоком для восстановления поверхности диска, обеспечивающим его хорошую плоскостность.

Характеристики

Модель	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Размер пластины	4 дюйма и меньше	6 дюймов и меньше
Диаметр рабочей пластины	420мм	420мм
Рабочее место	≤4	≤2
Порт подачи	≤3
Блок питания	220В, 10А
Таймер	0-10ч
Температура окружающей среды	20℃~35℃
Скорость платы	0-120 оборотов в минуту
Стандартная ставка	0-120 оборотов в минуту

Компонент системы крепления образцов	Зажим, роликовая рука
Сборка процесса полирования	Полировальная пластина, блок ремонта пластин и цилиндра
Сборка процесса шлифовки	Система подачи полирующей жидкости и полирующая пластина
Компонент обнаружения	Тестовая базовая платформа, измеритель плоскости, манометр для испытания давлением
Набор материалов для шлифовки и полировки пластин	Абразивный порошок, полировочный раствор, полировочная ткань, воск, размягчитель воска, стеклянный субстратный лист

Часто задаваемые вопросы

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана, вам нужно сначала внести предоплату, и завод начнет готовить товар. После того, как
оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы его отправим.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Домашняя страница

О нас

Оборудование MH

Решение

Зарубежные Пользователи

Видео

Связаться С Нами

Точная шлифовальная и полировальная машина для полупроводниковых материалов

Обзор оборудования:

Преимущества оборудования:

Функции оборудования:

Другие товары

Оборудование RTP Быстрая термическая обработка для сложных полупроводников SlC Светодиоды MEMS

Ручной монтировщик пластин

Столешничная быстрая термическая обработка / СИСТЕМА RTP

Полностью автоматическая система быстрой термической обработки с двумя камерами Оборудование RTP

Запрос

Articles

Products

Get In Touch

Точная шлифовальная и полировальная машина для полупроводниковых материалов

Обзор оборудования:

Преимущества оборудования:

Функции оборудования:

Другие товары

Запрос

Articles

Products

Get In Touch

Свяжитесь с нами