





|
Вакуумный плазменный узел-хост (60)
|
||||
|
Размер оборудования
|
Д 950×Ш 900×В 1650мм
|
|||
|
вес
|
350 кг
|
|||
|
Требуемое питание
|
AC380V, 50/60Hz, 5 проводов, 16A (общий открытый тип выше C)
|
|||
|
Спецификация генератора плазмы
|
||||
|
мощность
|
радиочастота
|
средняя частота
|
||
|
0~600W
|
0-1000W
|
|||
|
частота подачи
|
13.56МГц
|
40 К Гц
|
||
|
Вакуумная система
|
||||
|
вакуумный насос
|
Двухступенчатый вращательный насос (масляной насос): 40м3/ч
|
|||
|
вакуумная трубопроводная система
|
Вся линия из нержавеющей стали, а также вакуумные гофры высокой прочности
|
|||
|
качество материала
|
Алюминиевый сплав (настраиваемая полость из нержавеющей стали)
|
|||
|
толщина
|
25 мм
|
|||
|
герметичность
|
Военный уровень сварного уплотнения
|
|||
|
Внутренние размеры полости
|
375*375*430мм (ширина * высота * глубина)
|
|||
|
Эффективный размер электрода
|
247*281мм (ширина * глубина)
|
|||
|
Доступное пространство между элементами
|
22mm
|
|||
|
Размещение электрообкладок
|
Горизонтальная компоновка, может быть активный забор
|
|||
|
подносы
|
Стандартный набор, материал по выбору (алюминий, стальная проволочная сетка)
|
|||
|
рабочее пространство
|
6 Слоев
|
|||
|
процессный газ
|
||||
|
Диапазон потока
|
0~300SCCM
|
|||
|
Маршрут процессного газа
|
Стандартно с двумя способами, можно настроить. Трубопровод для процессного газа изготовлен из феррофлона
|
|||
|
navar
|
||||
|
SC
|
ПЛК
|
|||
|
интерактивный режим
|
7-дюймовый сенсорный экран
|
|||







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены