MCXJ-MLS8 Система безмасочной литографии , China MCXJ-MLS8 Система безмасочной литографии Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

Образец:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Схема конструкции оборудования

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Характеристики

Схема конструкции основного узла экспонирования

структура	иллюстрировать
Поверхность экспонирования	Область экспонирования: поверхность стола, зона размещения субстрата
Оптическая система	Область формирования лазерного излучения
Система контроля окружающей среды	Контроль внутренней температуры и положительного давления устройства
Система платформы	Контролирует движение стола для экспонирования, чтобы завершить операцию пути экспонирования
Система управления	Система управления всего оборудования

Примечание: Из-за обновления машины может измениться фактический внешний вид, конкретный предмет подчиняется фактическому продукту.

Нет.	Среда	Требуют
1	Источник света и окружающая среда	Желтый свет
2	Температура	22℃±2℃
3	Влажность	50%±10%
4	Чистоту	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, сухой, чистый воздух
6	Источник питания	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Заземляющий провод должен быть заземлен
7	Охлаждающая вода	Температура：10℃~ 20℃ Давление：0.3МПа ~ 0.5МПа Объем потока：20Л/мин Разница давления：0.3МПа и выше Калибр подключения：Rc3/8
8	Место проведения	уровень：±3мм/3000мм колебание：VC-B Подшипник：750кг/м²
10	Интернет	Один сетевой порт
11	Размер машины	130011002100мм
12	Вес устройства	1500кг

Нет.	Проект	Спецификация.	Примечание
1	Разрешение	0.6мкм/или другое требование	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Толщина субстрата	0.2мм～4мм
4	Точность сетки датчиков	60нм
5	Наложение	±500нм	130ммx130мм
6	Точность соединения	±200нм	AZ703
7	Максимальный размер экспозиции	190X190мм
8	Производительность	≥300мм²/мин	≤50мДж/см²;
9	источник света	LD 375нм
10	световая мощность	6W
11	Энергетическая равномерность	≥95%
12	срок службы источника света	10000ч

Упаковка и доставка

Профиль компании

У нас есть 16-летний опыт продаж оборудования. Мы можем предложить вам комплексное профессиональное решение для линий упаковки переднего и заднего края полупроводников из Китая.