Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Главная страница
О НАС
MH Equipment
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
Главная> Лабораторное полупроводниковое оборудование
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой
  • Машина литографии с масочной установкой

Машина литографии с масочной установкой

Описание продуктов

Машина литографии с масочной установкой

Аппарат для выравнивания масок Также известен как: аппарат для выравнивания масок с экспонированием, система экспонирования, литографическая система и т.д., является основным оборудованием для производства чипов. Он использует технологию, схожую с фотопечатью, чтобы переносить тонкие узоры с маски на кремниевый диск при помощи светового экспонирования.
Характеристика
——Высокая равномерность головки экспонирования с летающими глазами / механизм выравнивания с воздушной подушкой / надежная вакуумная фиксация для экспонирования.
——Вышеупомянутые характеристики обеспечивают высокое разрешение и высокую равномерность.
——Метод выравнивания с использованием маски обеспечивает стабильность и подачу субстрата, что гарантирует согласованность направляющей гравитации и силы.
——Использование бесщелевого линейного направления, высокая точность, быстрая скорость.

Производство высокоэффективной системы выравнивания требует практически идеальной точности механической обработки. Другой технической проблемой системы выравнивания является микроскоп для выравнивания. Чтобы расширить поле зрения микроскопа, многие современные литографические машины используют светодиодное освещение. Существуют две системы выравнивания с фокусировочной функцией. Она в основном состоит из двух глазков и двух полей зрения, направленных на основное тело микроскопа, одна пара окуляров и одна пара объективов (литографический
микроскоп обычно предоставляет окуляры и объективы с разным увеличением для пользователей). Функция системы выравнивания CCD заключается в увеличении маркеров выравнивания маски и образца и их отображении на мониторе.
Характеристики
Производитель
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Модель
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31
MD-G33
Головка экспонирования НЕТ.
1 головка экспонирования
1 головка экспонирования
2 головки экспонирования
2 головки экспонирования
Тип источника света
Источник ртутной лампы
Ультрафиолетовый источник света
Источник ртутной лампы
Ультрафиолетовый источник света
Область экспонирования
≤∅100мм
φ100 мм
≤∅120мм
≥∅115мм
Режим воздействия
Контактная экспозиция
технология микросилового параллелирования
технология микросилового параллелирования
технология микросилового параллелирования
Неоднородность экспонирования
∅100мм<±4%
≤ ± 3%
∅100мм≤±6%
≤±3% Интенсивность экспозиции ≥20мВт/см² (365нм,
404нм, 435нм Объединенный УФ
Толщина субстрата
1-5мм
≤5 мм
0.1-1мм
≤5 мм
Разрешающая способность экспонирования
3 мкм
1 μм
5 мкм
1 μм
Диапазон освещения
∅115мм
∅120мм
∅120мм
∅130мм
Система камеры
Система разделения бинокуляра
двойная система CCD
двойная система CCD
двойная система CCD
Система микроскопа
непрерывный зум 50-375
непрерывный зум 91x ~ 570X (объектив 1.6x ~ 10x непрерывный зум), диапазон регулировки расстояния между двойными объективами составляет
50мм ~ 120мм
0.7-4.5 непрерывный зум
60x, 120x непрерывный зум
(увеличение объектива 2x, 4x два), двойная настраиваемая дистанция объектива 25мм-70мм
Профиль компании
Minder-Hightech является представителем по продажам和服务 в области оборудования для полупроводниковой и электронной продукции. С 2014 года компания стремится предоставить клиентам Превосходные, Надежные и Комплексные Решения для оборудования.
ЧАВО
1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Запрос

Запрос Email WhatsApp WeChat
Top
×

Свяжитесь с нами