 
  
| Модель  | MDTS-WT2200  | 
| Количество осей прореживания  |  2 | 
| Количество рабочих столов  | 3, Индексный метод  | 
| Вал шлифовального круга  | Количество воздушных шпинделей: 2  Шпиндельный двигатель: частотный двигатель мощностью 7,5 кВт Скорость: 0~6000 об/мин, бесступенчатая регулировка Спецификация шлифовального круга: Φ203мм Тип шлифовального круга: алмазный шлифовальный круг | 
| Система подачи шлифовального круга  | Количество: 2 комплекта  Метод управления подачей: направляющая LM и шариковый винт сочетание Приводной двигатель: сервомотор Минимальная скорость подачи: 0.1мкм/сек Максимальная скорость подачи: 50мм/сек | 
| Верстак    | Количество: 3, индексный режим  Двигатель шпинделя: Сервомотор Скорость: 0~300об/мин, бесступенчатая регулировка Метод крепления: Вакуумная фиксация | 
| Поворотный стол рабочей площадки  | Режим привода: сервомотор  Диапазон вращения: 0~240° Форма позиционирования: позиционирование с помощью датчика | 
| Автоматическая толщина  система измерений | Метод измерения: контактное онлайн-измерение в реальном времени IPG  Количество измерительных головок: 2 Измерительный датчик: датчик уровня 0.1мкм | 
| Автоматическая загрузка/  система разгрузки | Тип коробки: кассета размером 6-8 дюймов, 25 слоев  Метод автоматической загрузки/разгрузки: используется манипулятор для подложек, чтобы обеспечить транспортировку тонких подложек без повреждений Толщина вафли: 150мкм-1000мкм | 
| Функция очистки рабочего стола  | Метод очистки: полирование масляным камнем и промывка двумя потоками DI-воды + воздуха  | 
| Автоматическая очистка/  система сушки | Очистка: очистка соплом DIW  Метод сушки: продувка + сушка Скорость: максимум 1000 об/мин, бесступенчатая регулировка | 
| Система устранения статического электричества  | Ионная планка или ионный вентилятор  | 
| Охладитель шпинделя  | Температура: 18-22°C  Поток: 4~8Л/мин | 
| Система управления    | Система управления: система управления ПК, сенсорный экран, трёхцветная сигнальная лампа  Интерфейс человека и машины на китайском/английском языках | 
| Максимальный размер пластины  | Максимальная совместимость с 8 дюймами  | 
| Диапазон скорости    | 0~6000 об/мин  | 
| Ход по оси Z    | 160мм  | 
| Скорость подачи по оси Z  | 0.1~100мкм/сек  | 
| Скорость быстрого возврата по оси Z  | 50мм/сек  | 
| Разрешение по оси Z  | 0.1мкм  | 
| Диапазон измерения толщины онлайн  | 0~1800мкм  | 
| Разрешение измерения толщины в режиме онлайн  | 0.1мкм  | 


Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены