Введение:
Данное оборудование представляет собой магнетронный прибор для нанесения покрытий на две цели. Оно оснащено двумя магнетронными мишенями и двумя комплектами источников постоянного тока. С его помощью можно наносить многослойные проводящие металлические пленки. В то же время оборудование состоит из двух частей: основной камеры и переходной камеры. В переходной камере установлен магнитный толкатель, а между двумя камерами установлен вакуумный затворный клапан. Пользователь может загружать образцы в переходную камеру и осуществлять предварительное откачивание до достижения вакуума, пока в основной камере происходит распыление. После завершения процесса распыления в основной камере образец может быть перемещён с помощью магнитного толкателя на держатель образцов в основной камере. Такая конструкция позволяет сократить количество циклов откачки и разгерметизации основной камеры, что не только эффективно экономит время, но и обеспечивает более высокое качество локального вакуума, а также существенно повышает качество наносимого покрытия.
Область применения:
Может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонкоплёночных ферроэлектриков, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.