Выделять
Введение: Данное оборудование представляет собой магнетронный установку для нанесения покрытий на две цели. Оно оснащено двумя магнетронными мишенями и двумя комплектами источников постоянного тока. С его помощью можно наносить многослойные проводящие металлические пленки. В то же время оборудование состоит из двух частей: основной камеры и переходной камеры. Переходная камера оснащена магнитным толкателем, а между двумя камерами установлен вакуумный затворный клапан. Пользователь может загружать образцы в переходную камеру и осуществлять предварительное откачивание вакуума, пока в основной камере происходит распыление. После завершения процесса распыления в основной камере образец может быть перемещён с помощью магнитного толкателя на держатель образцов в основной камере. Такая конструкция позволяет сократить количество циклов откачки и разгерметизации основной камеры, что не только эффективно экономит время, но и обеспечивает более высокое локальное вакуумное давление, а также существенно повышает качество наносимых покрытий.
Область применения: может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонких ферроэлектрических плёнок, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.