Введение:
Данное оборудование в основном состоит из вакуумной камеры из нержавеющей стали, магнетронного распылительного мишени, устройства для испарительного нанесения покрытия, образцового стола для размещения образцов, вакуумного насосного агрегата, вакуумметра, системы подачи воздуха и системы управления. Основной блок оборудования управляется с помощью сенсорного экрана и контролируется температурным регулятором. Его цифровой интерфейс параметров и автоматизированный режим работы предоставляют пользователям превосходную платформу для научных исследований и разработок. Вакуумная камера выполнена по схеме с нижним расположением мишени, а образцовый стол оснащён функциями нагрева и вращения, что обеспечивает более равномерный эффект нанесения покрытия. Система создания вакуума в данном оборудовании использует двухступенчатую группу вакуумных насосов. Предварительный ступенчатый насос — это высокоскоростной механический насос, который эффективно сокращает время достижения низкого вакуума из атмосферного давления. Основной насос — турбомолекулярный насос с высокой скоростью откачки и более быстрым созданием вакуума. В целом система создания вакуума отличается чистотой и высокой скоростью.
Область применения:
Может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонкоплёночных ферроэлектриков, проводящих плёнок, сплавных плёнок, полупроводниковых плёнок, керамических плёнок, диэлектрических плёнок, оптических плёнок и др.