Введение:
Данное оборудование представляет собой магнетронный прибор для нанесения покрытий на две цели. В данной конфигурации используется высоковакуумная камера из нержавеющей стали, конструкция с передним открытием и кварцевое наблюдательное окно в дверце для удобства наблюдения и регистрации хода эксперимента. Одновременно оборудование оснащено вращающейся нагреваемой подложкой, что позволяет эффективно повысить однородность и качество плёнки. На верхней крышке установлен комплект диафрагм, а переключение между двумя мишенями осуществляется путём поворота диафрагм, что обеспечивает многослойное нанесение покрытий. Для работы данного оборудования требуется группа высоковакуумных молекулярных насосов. Пользователи могут выбрать компактные молекулярные насосы импортных марок, что дополнительно экономит площадь установки. Кроме того, данная модель может быть укомплектована опциональным компонентом — измерителем толщины плёнки, позволяющим в режиме реального времени контролировать данные о толщине плёнки и предоставлять надёжные параметры для экспериментального процесса.
Область применения:
Может использоваться для получения тонких металлических плёнок, в электронике, оптике, специальной керамике и т.д. Подходит для подготовки образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) в лабораторных условиях.