Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Получить предложение

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Главная страница
О Нас
Оборудование MH
Решение
Зарубежные Пользователи
Видео
Свяжитесь с нами
Главная> Шлифовальный станок для пластин
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP
  • Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP

Автоматический одношайбовый химико-механический полировочный аппарат для планаризации CMP

Получите бесплатную котировку
Описание продукта
ATOM Single Platen CMP

Характеристики машины

Устройство гибкое и может поддерживать несколько головок.
Процессуальные возможности оборудования близки к уровню ведущих моделей продукции того же размера.
Хорошая согласованность между процессами на разных устройствах.

Области применения

шлифовка размером 4-8 дюймов STI, ILD/IMD, TSV, TGV и поверхностная шлифовка компаундов, таких как SiC, LT, LN, GaAs и т.д.

Технические параметры

головки размером 4 дюйма, 6 дюймов, 8 дюймов с многозонным управлением
Тип плоскости Φ20 дюймов 508MM
Точность контроля давления головки <0.05PSI
Точность управления скоростью вращения головки и плоскости <2RPM

1. Единица LoadPort

Порт может быть перевернут для погружения кассеты в Qtank, предотвращая образование кристаллов суспензии на
отполированной поверхности пластин. Укомплектован функцией Cassette Mapping.

2. Единица извлечения материала роботом

Укомплектован 4-осевым роботом, который может автоматически переносить пластины из кассеты в шлифовальный узел.

3. Посмотрите. Полировщик

Этот блок оснащен пластинкой * 1, головой * 1, ПК *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1 и конечная точка EPD
обнаружение. Он может достичь автоматической загрузки и разгрузки пластины, многозона управления головой, Слюнка
изменение точки приземления с настройками рецепта, обнаружением конечной точки и другими функциями.
Глава полировщика CMP
Главы полировки, установленные на этом устройстве, разработаны, спроектированы и произведены нашей компанией.
Среди них 4-дюймовая 3-кухневая головка - уникальный продукт, созданный нашей компанией, заполняющий пробел в отсутствии многокухневой 4-дюймовой головы в Китае. Наша компания может быстро модифицировать или настроить головку в соответствии с характеристиками продукта клиента. При разработке продуктов с тонкой пленкой TGV (200 мм) внутренняя структура головки была изменена для удовлетворения требований полировки тонкой пленки. В процессе разработки технологии полировки поверхности LN OX наша компания глубоко модернизировала 6-дюймовую головку и успешно удовлетворила требования к продукту клиента.
Применения
Традиционный процесс полировки планаризации ИС;
Процесс TGV/TSV;
Smart Cut и CMP предварительной склейки;
Полировка субстрата SiC/полировка арсенида галлия.
Характеристики
Порт
Количество * 1, с Q-баком
Робот
Количество * 1, для транспортировки пластин
HCLU
Количество * 1, для автоматической загрузки и выгрузки пластин
Полировочный узел
Количество * 13 позиций контроля, точность контроля 0.1PSI, поддерживает операции с пластинами толщиной 400-1200 МКМ.
Скорость полировальной головки
5-150 об/мин
Полировальный диск
Количество * 1 Размер полировального диска 508 мм, скорость полировального вала 10-150 об/мин.
Резательная рука
Количество * 1 полировальная подушка. Полировальная подушка может работать в режиме онлайн (одновременно) или офлайн (после полировки). Резка
рука оснащена резательной осью, которая может вращаться и двигаться вверх-вниз, а скорость и усилие нажатия можно контролировать.
резец установлен на резательную ось и может быть быстро
снят. В зависимости от типа полировальных подушек используются различные типы инструментов для их обработки, включая щетки, алмазные кольца и алмазные диски.
алмазные щетки, алмазные кольца и алмазные диски.
Пневматический блок управления давлением полировальной головки UPA
Количество * 13Зона регулируемая для лучшего эффекта плоскости поверхности
Насос для подачи полирующей жидкости
Количество * 2. Перистальтические насосы используются для подачи жидкости, с 2 перистальтическими насосами, сконфигурированными для доставки различных полировки
жидкости к полирующему диску. Каждый насос может использоваться на любом этапе процесса.
Рука с слизистой водой
Количество * 1 может контролировать точку попадания отстойки и очищать полирующую подстилку.
Система управления работой может достичь контроля на уровне пользователя, например, режима оператора, режима технического обслуживания и технического режима, и var
моды управления управляются паролями. Система программного обеспечения может редактировать параметры процесса каждого этапа процесса и сглаживать и
полировать тонкую пленку на поверхности чипа в соответствии с программой. Он может контролировать состояние работы оборудования, контролировать
процессные параметры в режиме реального времени, и программное обеспечение может автоматически хранить различные процессовые данные. Оборудованы аварийной остановкой
кнопка, используется для немедленной остановки работы оборудования и отключения контрольного питания.
Упаковка и доставка
Профиль компании
Часто задаваемые вопросы
1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана, вам нужно сначала внести предоплату, и завод начнет готовить товар. После того, как
оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы его отправим.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Другие продукты

Запрос

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены

Политика конфиденциальности

Запрос Email Whatsapp ВЕРХ
×

Свяжитесь с нами